Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600SE II #293764330 zu verkaufen

ID: 293764330
Etcher Process: Poly, Oxide, Metal.
LAM RESEARCH TCP 9600SE II Asher ist ein Hochgeschwindigkeits-vollautomatisiertes Plasmaätzgerät, das die anspruchsvollsten Ätzanforderungen in der Halbleiterindustrie erfüllt. Es ist ein Dual-Wafer-Ätzer, der bis zu vier Substrate gleichzeitig verarbeiten kann und eine beispiellose Leistung und einen beispiellosen Durchsatz bietet. Diese Maschine ist einer der zuverlässigsten Ätzer, die heute verfügbar sind und routinemäßig Produktionserträge von 99,999% liefern können. Das System ist aus hochwertigen Aluminium- und Edelstahlkomponenten aufgebaut und kann bei erhöhten Temperaturen und Drücken arbeiten. Das Innere der Kammer wird auf einer Temperatur von bis zu 400℃ gehalten, um eine gleichmäßige Prozesskonsistenz zu gewährleisten. Der Betrieb in kontrollierter Atmosphäre beseitigt Verschmutzungen aus der Außenluft und sorgt für höchste Prozesskontrolle. Die Energieversorgung des Ätzers erfolgt über ein dichtes, robustes Netzteil, mit dem das Gerät Wafer mit geringem Leistungsbedarf bearbeiten kann. Die Maschine kann so konfiguriert sein, dass sie entweder eine HF-Quelle oder eine Mikrowellenquelle zum Initiieren des Plasmas verwendet. Die HF-Quelle kann sowohl im Hoch- als auch im Niederfrequenzmodus arbeiten. Zusätzlich kann das Werkzeug für eine schnelle Chargenbearbeitung oder für kontinuierliche Vorschubvorgänge konfiguriert werden. Der LAM 9600SE II verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die Personal und Ausrüstung zusätzlich schützen. Dazu gehören ein Flüssigstickstoffreservoir mit Füllstandsüberwachung, Vibrationsfiltersysteme, Drucksensorsysteme und Prozessrechnerüberwachung. Die automatisierte Plasmaätzanlage ist mit verschiedenen Unterstützungsfunktionen wie Vorätzreinigung, Kühlung und Datenerfassung integriert, um eine optimierte Prozesssteuerung zu gewährleisten. Das Modell ist auch mit den neuesten Funktionen für Präzisionsätzen ausgestattet, einschließlich fortgeschrittener Scanalgorithmen, präziser Ätzfenster und Wiederholbarkeitsparameter. Dies gewährleistet höchste Qualitätsstandards an geätzten Teilen und ermöglicht die für eine effektive Produktion notwendige Prozessoptimierung. Das LAM 9600SE II Gerät ist sehr vielseitig einsetzbar und kann an eine breite Produktpalette angepasst werden. Von Micro-Matching-Komponenten bis hin zu Hochleistungskomponenten können kleine Strukturen effektiv geätzt werden, ohne dabei auf Qualität zu verzichten. Die Kombination aus fortschrittlichen Ätzkontrollparametern, Überwachungssystemen und systemintegrierten Funktionen macht es zu einem der zuverlässigsten Ätzsysteme, die heute auf dem Markt erhältlich sind.
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