Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9157867 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9608 SE ist ein automatisierter Ätzer/Ascher für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist in der Lage, bis zu 300 bis 600 8 "Wafer mit Geschwindigkeiten bis zu 300WPH zu verarbeiten. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über eine 20-Schlitz-Kassette, bietet eine Kammerdruckregelung bis zu 0,1 mbar und bietet Hochleistungs-Ätzprozesse. Es ist eine der ersten Produktionsätzungen mit Niederdruckverarbeitung und ist mit organischen Dampfphasenätzern kompatibel. TCP 9608 SE ist modular aufgebaut und verfügt über eine Reihe automatisierter Komponenten, darunter ein Vakuumsystem, Gas- und Materialzufuhrsysteme, ein Steuersystem und eine Human Machine Interface (HMI). Es verfügt über ein Zwei-Raum-Design, das die manuelle Roboter-Wartung überflüssig macht und Reinraumkompatibilität gewährleistet. LAM RESEARCH TCP 9608 SE bietet eine einfache Prozesssteuerung durch HMI und Feinsteuerung von Kammerdruck und Prozessgasen. Es verfügt auch über robuste eingebaute Sicherheitssysteme, einschließlich eines Prozessgasmanagementsystems, das die Freisetzung gefährlicher Chemikalien verhindert. TCP 9608 SE verfügt über eine Top-Down-Plasmaquelle, die ideal ist, um stark repetitive Funktionsmuster mit hoher Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zu erstellen. Es hat auch eine Spaltkammer-Konstruktion, die die Möglichkeit von unerwünschten chemischen Prozessen minimiert. Der Kammerdruck des Ätzers kann optimiert werden, um den höchsten Durchsatz und die geringste chemische Verwendung zu gewährleisten. LAM RESEARCH TCP 9608 SE bietet überlegene Leistung bei Ätzanwendungen wie Edelstahl, SiC, TiN/TiC, Aluminium und Titan. Dank seiner flexiblen Architektur und seiner vielfältigen Verarbeitungsmöglichkeiten kann es sowohl für ein- als auch doppelseitiges Ätzen verwendet werden. Dieser Ätzer/Ascher ist auch für die Herstellung von Wafern mit hohem Durchsatz und niedrigen Kosten ausgelegt. Die integrierten Prozesse gewährleisten gleichbleibend hochwertige Produkte mit hohen Erträgen. Diese Eigenschaften machen TCP 9608 SE zu einer idealen Wahl für Halbleiterhersteller, die nach einem effizienten Ätzer suchen, der qualitativ hochwertige Ergebnisse liefern kann. Seine leistungsstarken Fähigkeiten und seine Wirtschaftlichkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für verschiedene Waferbearbeitungsaufgaben.