Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416 zu verkaufen

ID: 9226416
Weinlese: 1998
Metal etchers Main CPU & ACDC module SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers Sub fab equipment: Remote AC box Handler system: Wafer notch alignment with spatula (2) Harmonic drive with wafer handlers APM Slider with shuttle arm Process chambers: Etching with E-chuck Stripping Spin rinse dry with vacuum chuck Main chamber: Turbo pump 1000 ltrs with controller E-Chuck TCP RF Match Bias RF Match (2) RF Generators CL2 MFC: 100 SCCM BCL3 MFC: 50 SCCM O2 MFC: 300 SCCM N2 MFC: 20 SCCM N2 MFC: 1000 SCCM Ar MFC: 100 SCCM He UPC: 50 SCCM Strip chamber: DSQ RF Match Heater paddle RF Generator Manual WVDS Controller O2 MFC: 2000 SCCM N2 MFC: 300 SCCM H2O MFC: 500 SCCM With controller (2) Load locks (3) RF Generators: 1250 W Manual WVDS Controller 1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9608 SE ist ein Ätzer/Ascher, der speziell zum Polieren von Aluminium, Messing und anderen Metallen entwickelt wurde. Der Ätzer/Ascher nutzt eine kontrollierte Plasmaquelle, um Metalloberflächen bei präzisen Niveaus und Temperaturen zu ätzen. Dieses System ist eine sehr vielseitige Maschine, die gleichzeitig in zwei getrennten Kammern geätzt und geascht werden kann. Die erste Kammer ist für selektive Ätzprozesse bei Temperaturen bis 701 ° C und unterschiedlichsten Gasen wie Chlor, Sauerstoff, Argon und Stickstoff ausgelegt. Es ist ideal für die Strukturierung von Prozessen wie Dünnschichtabscheidung, Maskierung, Graben und Pad Definition. Die zweite Kammer ist für Aschevorgänge ausgelegt und kann Temperaturen bis zu 750 ° C aufweisen. Dies ermöglicht ein schnelleres und effizienteres Aschen von organischem Material wie Polymeren, Photoresists, Perfluropolymeren und Acryl. TCP 9608 SE verfügt über mehrere Funktionen, um die Effizienz des Ätz- und Ascheprozesses weiter zu verbessern. Es ist mit einer Emissionsüberwachung und einem Drucksensor ausgestattet, die Prozessstabilität und wiederholbaren Betrieb gewährleisten. Zusätzlich weist die Ätzkammer ein einstellbares Durchfluss- und Gasgemischmischsystem zur präzisen Steuerung von Ätz- und Aschevorgängen auf. Die Kammer verfügt auch über integrierte Profile für mehrere Rezepte, so dass es einfach zu speichern und häufig verwendete Prozesse zu wiederholen. LAM RESEARCH TCP 9608 SE ist für Labore und industrielle Anwendungen konzipiert. Es ist für den sicheren Betrieb ausgelegt und bietet einen eingebauten Sicherheitsschild für mehr Sicherheit. Es entspricht auch den CE- und UL-Standards und gewährleistet die Langlebigkeit und Qualität der Maschine. Dieses System hat auch eine Funktion, um Prozessgenauigkeit zu gewährleisten: eine dreiachsige Bewegungsfähigkeit, die Drift der Platte minimiert und zu einer präzisen Prozessmessung führt. Insgesamt ist TCP 9608 SE ein Ätzer/Ascher, der auf die Bedürfnisse von Forschern, Wirtschaftsingenieuren und Entwicklungsexperten zugeschnitten ist. Es bietet präzise Ätz- und Aschefunktionen sowie verschiedene Sicherheitsfunktionen für den Benutzerschutz. Darüber hinaus ist es mit Bewegungsfunktionen und fortschrittlichen Steuerungssystemen für Präzisionsätz- und Ascheprozesse ausgestattet. Wenn Sie einen zuverlässigen und vielseitigen Ätzer/Ascher suchen, ist LAM RESEARCH TCP 9608 SE eine ausgezeichnete Wahl.
Es liegen noch keine Bewertungen vor