Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416 zu verkaufen
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ID: 9226416
Weinlese: 1998
Metal etchers
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Sub fab equipment: Remote AC box
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic drive with wafer handlers
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Spin rinse dry with vacuum chuck
Main chamber:
Turbo pump 1000 ltrs with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF Match
(2) RF Generators
CL2 MFC: 100 SCCM
BCL3 MFC: 50 SCCM
O2 MFC: 300 SCCM
N2 MFC: 20 SCCM
N2 MFC: 1000 SCCM
Ar MFC: 100 SCCM
He UPC: 50 SCCM
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Manual WVDS Controller
O2 MFC: 2000 SCCM
N2 MFC: 300 SCCM
H2O MFC: 500 SCCM
With controller
(2) Load locks
(3) RF Generators: 1250 W
Manual WVDS Controller
1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9608 SE ist ein Ätzer/Ascher, der speziell zum Polieren von Aluminium, Messing und anderen Metallen entwickelt wurde. Der Ätzer/Ascher nutzt eine kontrollierte Plasmaquelle, um Metalloberflächen bei präzisen Niveaus und Temperaturen zu ätzen. Dieses System ist eine sehr vielseitige Maschine, die gleichzeitig in zwei getrennten Kammern geätzt und geascht werden kann. Die erste Kammer ist für selektive Ätzprozesse bei Temperaturen bis 701 ° C und unterschiedlichsten Gasen wie Chlor, Sauerstoff, Argon und Stickstoff ausgelegt. Es ist ideal für die Strukturierung von Prozessen wie Dünnschichtabscheidung, Maskierung, Graben und Pad Definition. Die zweite Kammer ist für Aschevorgänge ausgelegt und kann Temperaturen bis zu 750 ° C aufweisen. Dies ermöglicht ein schnelleres und effizienteres Aschen von organischem Material wie Polymeren, Photoresists, Perfluropolymeren und Acryl. TCP 9608 SE verfügt über mehrere Funktionen, um die Effizienz des Ätz- und Ascheprozesses weiter zu verbessern. Es ist mit einer Emissionsüberwachung und einem Drucksensor ausgestattet, die Prozessstabilität und wiederholbaren Betrieb gewährleisten. Zusätzlich weist die Ätzkammer ein einstellbares Durchfluss- und Gasgemischmischsystem zur präzisen Steuerung von Ätz- und Aschevorgängen auf. Die Kammer verfügt auch über integrierte Profile für mehrere Rezepte, so dass es einfach zu speichern und häufig verwendete Prozesse zu wiederholen. LAM RESEARCH TCP 9608 SE ist für Labore und industrielle Anwendungen konzipiert. Es ist für den sicheren Betrieb ausgelegt und bietet einen eingebauten Sicherheitsschild für mehr Sicherheit. Es entspricht auch den CE- und UL-Standards und gewährleistet die Langlebigkeit und Qualität der Maschine. Dieses System hat auch eine Funktion, um Prozessgenauigkeit zu gewährleisten: eine dreiachsige Bewegungsfähigkeit, die Drift der Platte minimiert und zu einer präzisen Prozessmessung führt. Insgesamt ist TCP 9608 SE ein Ätzer/Ascher, der auf die Bedürfnisse von Forschern, Wirtschaftsingenieuren und Entwicklungsexperten zugeschnitten ist. Es bietet präzise Ätz- und Aschefunktionen sowie verschiedene Sicherheitsfunktionen für den Benutzerschutz. Darüber hinaus ist es mit Bewegungsfunktionen und fortschrittlichen Steuerungssystemen für Präzisionsätz- und Ascheprozesse ausgestattet. Wenn Sie einen zuverlässigen und vielseitigen Ätzer/Ascher suchen, ist LAM RESEARCH TCP 9608 SE eine ausgezeichnete Wahl.
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