Gebraucht LAM RESEARCH TM4.1 #9198145 zu verkaufen

LAM RESEARCH TM 4.1 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um ein hochwertiges und wiederholbares Verfahren für eine Vielzahl von Anwendungen in einer Vielzahl von Gasen, Drücken und Temperaturen bereitzustellen. Der TM 4.1 Ätzer/Ascher kombiniert ein robustes und hochpräzises Design mit dynamischer In-situ-Prozesssteuerung, um Ausbeute und Durchsatz in einer Vielzahl von Prozessen zu maximieren. Der TM 4.1 Ätzer/Ascher ist mit robusten und zuverlässigen mechanischen Komponenten gebaut, um eine lange Lebensdauer bei minimaler Wartung zu gewährleisten. Seine robuste Konstruktion hilft auch, wiederholbare Gleichmäßigkeit über Waferläufe zu gewährleisten. Das TM 4.1 umfasst eine Quarzkammer mit elektrischen Durchführungen, Edelstahlflanschen, ein 200mm Wählventil und eine Prozessgasbaugruppe, die für eine große Auswahl an Prozessgasen angepasst werden kann. Das spezialisierte Reglersystem des TM 4.1 bietet dynamische In-situ-Prozesssteuerung und adaptive Reaktion, um wiederholbare Leistung für alle Prozessrezepte zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst die TM 4.1 eine sekundäre Prozesskammer zum Probenbacken sowie eine Waferausrichtung und einen Ladeanschluss zur einfachen Be- und Entladung von Wafern, Masken und anderen Gegenständen. Der TM 4.1 bietet auch fortschrittliche Sicherheitsfunktionen wie automatische Notabschaltventile, einen Inertgasspeicher und die Möglichkeit, sich in aktive Kammerspülsysteme zu integrieren. Die TM 4.1 ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen konzipiert, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Ätzen und Aschen, Resiststreifen, Dünnschichtabscheidung, dickere Filmabscheidung und Wafer-Entgraten. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH TM 4.1 etcher/asher ein robustes und hochpräzises System, das ein fortschrittliches lasergeätztes Prozessrezept und eine dynamische In-situ-Prozesssteuerung für kundenspezifische Prozesse bietet. Sein robustes mechanisches und elektrisches Design, vielseitige Prozessgase und fortschrittliche Sicherheitsmerkmale sorgen für konsistente Leistung und Wiederholbarkeit. Durch die Kombination der Funktionen des TM 4.1 Ätzers/Aschers mit einem effektiven und effizienten Waferbearbeitungsservice können Hersteller das Beste aus ihren Waferbearbeitungsanwendungen herausholen.