Gebraucht LAM RESEARCH Torus 200 #9235815 zu verkaufen

LAM RESEARCH Torus 200 ist eine anspruchsvolle Ätz-/Ascheausrüstung, die eine präzise Ätz-/Ascheverarbeitung von Dünnschichtschichten während des Halbleiterherstellungsprozesses ermöglicht. Torus 200 verwendet eine Vakuumkammer, die mit einem leistungsstarken Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasamquellensystem gekoppelt ist, um optimierte Ätz-/Ascheprozesse einschließlich selektiver (anisotroper) Ätzung mit hohem Durchsatz zu liefern. Die Plasamaquelle hat 200 Watt Leistung und kann sowohl in Argon (Ar) als auch in Fluor (F) Gasumgebungen im Bereich von 0,1-50 mTorr arbeiten. Es ist mit motorangetriebenem Fokusring-Treiber, frequenzprogrammierbarem Leistungsregler, Sicherheitsverriegelungsschalter und einer Quellenzyklusschale mit Quarzfenstern ausgestattet. LAM RESEARCH Torus 200 Hauptätzkammer ist in der Lage, bis zu zwei 4 „Wafer bei Temperaturen bis 150 ° C zu handhaben, während die Lastschlösser bis zu vier 4“ Wafer in einem parallelen Prozess handhaben können. Das Gerät bietet simultane Ätz-/Aschefähigkeiten mit Zweikammer-Chemie, wobei mehrere Ätz-/Ascheschritte auf demselben Wafer zur Geräteoptimierung durchgeführt werden können. Die fortschrittliche Plattform ist mit flexiblen Rezeptparametern und präziser Prozesssteuerung sowie einer fortschrittlichen Human Machine Interface (HMI) mit Rezeptmanagement-Funktionen aufgebaut. Dadurch kann der Anwender die Prozessparameter schnell und einfach für seine spezifischen Ätz-/Ascheanforderungen konfigurieren. Torus 200 verfügt auch über eine vollständige Isolierung der Transport- und Verarbeitungskammer, eine Vakuumprozesskammer mit robusten Backfunktionen und ein Remote-Service-Terminal, um Produktionsstabilität auf Industriestufe und erhöhte Benutzersicherheit zu gewährleisten. Die Maschine ist aufgrund ihrer einzigartigen Hybridkonstruktion von Luftlager- und Magnetschwebestufen sowie der TOYOMOTION-Steuerungssoftware von LAM für die Treiber-Rückkopplung sehr zuverlässig. LAM RESEARCH Torus 200 Ätz-/Aschewerkzeug bietet eine effiziente, kostengünstige und energiebewusste Lösung für Halbleiterherstellungsanforderungen. Es eignet sich zum Ätzen von Speichergeräten, Hochspannungsschichten und Spezialschichten für ULSI-Anwendungen. Torus 200 ist ein Spitzenreiter in der Branche und bietet überlegene Ätz-/Aschequalität mit ausgezeichneter Selektivität und Gleichmäßigkeit. Es ist das perfekte Werkzeug für die heutige dynamische Halbleiterindustrie.