Gebraucht LAM RESEARCH Torus 200 #9376881 zu verkaufen

LAM RESEARCH Torus 200 ist ein Ätzer/Ascher, der speziell auf die Anforderungen unterschiedlichster Anwendungsprozesse zugeschnitten ist. Es verfügt über eine in-line dreidimensionale (3D) bildgebende Ausrüstung, den nachgeschalteten Beobachtungsanschluss und ein integriertes Fördersystem. Diese multifunktionale Ätz- und Ascheeinheit ist ideal für die Hochdurchsatz-Substrataufbereitung und Dünnschichtabscheidung in einer einzigen Kammer. Torus 200 bietet eine erweiterte Verarbeitungsvielfalt, die das Ätzen und Aschen in derselben Kammer kombiniert. Es beinhaltet eine intelligente Gassteuerungsmaschine, die bis zu vier Prozessgase unterstützt und mehrere Substrat- und Filmprozesse in einem Zyklus ermöglicht. Das Gasregelwerkzeug optimiert die Reaktionsparameter durch automatische Einstellung der Ätz- und Aschebedingungen für jedes Substrat. Zur präzisen Substratausrichtung und einfachen Be- und Entladung des Werkzeugs ist eine integrierte Substratförderanlage vorgesehen. LAM RESEARCH Torus 200 verwendet ein In-Line-3D-Bildgebungsmodell, um Fehler oder Verunreinigungen auf dem Substrat während der Verarbeitung zu erkennen. Die automatisierte Inspektionsausrüstung kann jede Nichtübereinstimmung zwischen den programmierten Daten und dem tatsächlichen Substratstatus erkennen und ermöglicht Echtzeit-Feedback für ultimative Prozessgenauigkeit und Kontrolle. Der nachgeschaltete Beobachtungsport unterstützt auch bei der Überwachung und Manipulation des Ätz- und Ascheprozesses. Der Port bietet eine hervorragende Beobachtungsfähigkeit und ermöglicht es dem Benutzer, die vorderen, seitlichen und hinteren Oberflächen des Substrats gleichzeitig zu beobachten. Ein einzigartiges automatisches Platzierungssystem (APS) ist verfügbar, um die Positionierung der Probe auf dem Substratkragen unter Berücksichtigung von Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche zu optimieren. Torus 200 ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die die totale Sicherheit von Personal und Ausrüstung gewährleisten. Um die Ätz- und Ashing-Qualität weiter zu verbessern, stehen fortschrittliche Embedded-Softwarelösungen zur Verfügung, die eine vollständige Integration mit anderen PrCB-Systemen ermöglichen. Die leichte und robuste Bauweise des Geräts macht es für mehrere Anwendungen sowohl in der Pilot- als auch in der Großserienfertigung geeignet. Insgesamt ist LAM RESEARCH Torus 200 ein zuverlässiger Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Anwendungen gut geeignet ist. Mit seinen vielfältigen Prozessfähigkeiten, fortschrittlichen Bildverarbeitungsmaschinen, integrierten Förderwerkzeugen und Sicherheitsfunktionen erfüllt Torus 200 die unterschiedlichen Anforderungen der Kunden, indem es hochwertige und zuverlässige Lösungen anbietet. Darüber hinaus ist es aufgrund seines geringen Gewichts und seiner robusten Konstruktion ideal für den kontinuierlichen und automatisierten Betrieb unter verschiedenen Bedingungen.