Gebraucht LAM RESEARCH Torus 300B #9407116 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
LAM RESEARCH Torus 300B ist eine fortschrittliche, hochpräzise Ätz-/Aschermaschine, die in der Halbleiterindustrie für die Waferbearbeitung eingesetzt wird. Der Ätzer wird für eine Vielzahl von Verfahren einschließlich Ätzen und Polieren verwendet. Torus 300B ist ein vollautomatisches Werkzeug, das in der Lage ist, hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse in einer Vielzahl von Ätz- und Reinigungsprozessen zu liefern. LAM RESEARCH Torus 300B wird von einem Gassteuerungssystem angetrieben, das mit einer geschlossenen Reaktionskammer zur maximalen Kontrolle der Ätzparameter integriert ist. Die Reaktionskammer kann schnell und einfach gewechselt werden, so dass leicht zwischen verschiedenen Ätzchemien und Substraten gewechselt werden kann. Die Kammer kann bis zu 1.8L Fassungsvermögen haben, und die Einheit ist mit Niedertemperatur-Ätzoptionen ausgelegt. Torus 300B ist mit einer hocheffizienten Reaktionskammer ausgelegt, um die Betriebskosten zu minimieren. Erweiterte Prozesssteuerungsalgorithmen und verbesserte Hardware wurden integriert, um sehr wiederholbare Ergebnisse mit hervorragender Prozessleistung zu liefern. Der Ätzprozess kann in Echtzeit über die benutzerfreundliche grafische Oberfläche der Maschine überwacht werden und bietet volle Kontrolle über Ätzparameter. Das integrierte Wafer-Handling-Modul des Werkzeugs ermöglicht ein schnelles und genaues Be- und Entladen von Wafern, wodurch die Waferbearbeitung gestrafft wird. Die Anlage kann mit einer breiten Palette von zusätzlichen Funktionen, wie in-situ Waschen und eine spezialisierte Pumpe für Präzisionsreinigung angepasst werden. Ein erweitertes Vakuumpaket kann auch integriert werden, um die Prozessgenauigkeit zu optimieren und Prozesszeiten zu reduzieren. LAM RESEARCH Torus 300B wurde entwickelt, um benutzerfreundlich und zuverlässig zu sein und bietet eine erhöhte Prozessstabilität und Wiederholbarkeit. Die beeindruckende Produktivität und Leistungsfähigkeit des Modells unterscheidet es von anderen Radierern und Aschermaschinen auf dem heutigen Markt. Es ist die ideale Wahl für jede Halbleiterherstellungsanlage, die High-End-Wafer effizient und zuverlässig verarbeiten möchte.
Es liegen noch keine Bewertungen vor