Gebraucht LAM RESEARCH Torus 300B #9407118 zu verkaufen

LAM RESEARCH Torus 300B ist ein einzelner Waferätzer und Ascher, der entwickelt wurde, um hochpräzise Wafer schnell und präzise zu bearbeiten. Diese Ausrüstung ist mit einer hohen Selektivität und Zuverlässigkeit gebaut, die es ermöglicht, Strukturen verschiedener komplexer Formen und Größen genau zu produzieren. Torus 300B arbeitet mit einer präzisen Rückkopplungsregelung, die sowohl Kammerdrücke als auch Gasströme auf präzise gleichmäßige Ätzung überwacht. Hierdurch lassen sich präzise differentiell geätzte Strukturen mit für eine Vielzahl von Anwendungen geeigneten Musterabmessungen realisieren. Diese Anwendungen umfassen fortschrittliche Lithographie, Feinschaltung und MEMS-Herstellung, 3D-ICs (3-dimensionale integrierte Schaltungen) und elektronische Geräte mit hoher Dichte. Die Serie von zweistufigen Pumpen bietet einen robusten, schnellen und hochgenauen Ätzprozess, der den Durchsatz und die Ausbeuten erhöht. Diese Pumpen sind starr montiert und vakuumdicht, um potentielle Vibrationen zu reduzieren, während der mitgelieferte hochgenaue Positionierungsservoaktor manuelle Handhabung und Ausrichtung eliminiert. Darüber hinaus verfügt das System über eine patentierte integrierte selbstjustierte Plasmaquelle mit fortschrittlicher Prozesssteuerung, um einen Hochleistungsbetrieb zu gewährleisten. LAM RESEARCH Torus 300B bietet auch eine breite Palette von erweiterten Funktionen wie einen flexiblen Match-Modus (FMM), in dem das Gerät nach optimalem Prozess-Timing arbeitet, um ein konsistentes Ätzen über Wafer und eine wählbare Zykluszeitreduzierung (CTR) zu ermöglichen. Darüber hinaus umfasst die Maschine eine breite Palette von Sicherheits- und Schutzmechanismen, einschließlich eines patentierten Ultra Low Particle Etch (ULPE) -Prozesses, um den Bedienerschutz vor schädlichen Abgasen zu gewährleisten. Insgesamt ist Torus 300B ein zuverlässiges und fortschrittliches Ätzwerkzeug, das komplizierte Muster mit präziser Selektivität und Gleichmäßigkeit erzeugen kann. Die Serie von zweistufigen Pumpen bietet hohe Leistung und Genauigkeit, während die integrierte selbstjustierte Plasmaquelle für einen Hochleistungsbetrieb sorgt. Darüber hinaus bietet die Anlage auch Sicherheits- und Schutzmechanismen, um die Sicherheit des Betreibers zu gewährleisten.