Gebraucht LAM RESEARCH Torus 300B #9408569 zu verkaufen

LAM RESEARCH Torus 300B ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für den Einsatz in der Herstellung integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Es ist ein hochspezialisierter Ätzer und Ascher, der für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheoperationen verwendet werden kann. Torus 300B verfügt über eine Zweigasförderanlage, die Anwendern die Flexibilität gibt, entweder reaktive Gasgemische oder Isotope zu verwenden. Seine große aktive Fläche ermöglicht ein hochdichtes Ätzen und Aschen, ohne die Kantenauflösung zu beeinträchtigen. Die Kammer von LAM RESEARCH Torus 300B ist sowohl für zeit- als auch energiesperrte Lieferungen konzipiert, die dazu beitragen, bestmögliche Ergebnisse zu erzielen. Es hat einen einstellbaren Druckbereich von bis zu 5 mbar und einen einstellbaren Temperaturbereich von -5 ° C bis + 150 ° C. Dadurch können nahezu alle Materialien mit einer Vielzahl von Ätzparametern effektiv geätzt werden. Es kann auch verwendet werden, um Metalle und Dielektrika abzuscheiden, so dass es ideal für eine breite Palette von Fertigungsoperationen. Torus 300B verwendet einen thermischen Verdampfer, der es Anwendern ermöglicht, Materialien, einschließlich Metalle und Dielektrika, mit hoher Genauigkeit genau abzuscheiden. Es verfügt auch über einen integrierten Ätzmonitor, mit dem Benutzer den Fortschritt des Ätzprozesses verfolgen können. Mit der mitgelieferten Software können Benutzer eine Vielzahl von Ätzparametern programmieren, einschließlich Substratmaterialien, Anzahl der Zyklusschritte, Photomaskenmuster und Prozesssteuerungsparameter. LAM RESEARCH Torus 300B ist in einer Vakuumkammer eingeschlossen, die die Prozessumgebung stabil hält und es Anwendern ermöglicht, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus ist es für eine einfache Installation und minimale Wartung ausgelegt. Torus 300B verwendet ein automatisiertes Selbstdiagnosesystem, mit dem Benutzer Probleme mit Einheiten schnell diagnostizieren und beheben können. LAM RESEARCH Torus 300B wird unter Berücksichtigung der Sicherheit gebaut. Es verfügt über eine Notverriegelungsmaschine, um das Werkzeug schnell abzuschalten und im Notfall Gas zu evakuieren. Darüber hinaus umfasst es eine eingebaute Druck- und Temperaturüberwachung. Alle diese Funktionen stellen sicher, dass Betreiber in einer sicheren und konformen Umgebung arbeiten. Insgesamt ist Torus 300B ein idealer Ätzer und Ascher für die Herstellung hochwertiger integrierter Schaltungen. Mit seinem Zweigasliefermodell und dem einstellbaren Druck- und Temperaturbereich kann es eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen mit Leichtigkeit bewältigen. Seine einstellbaren Zyklusparameter und eingebauten Sicherheitsmerkmale machen es zuverlässig und sicher für den Einsatz durch die Betreiber.