Gebraucht LAM RESEARCH Torus 300S #9235357 zu verkaufen

LAM RESEARCH Torus 300S
ID: 9235357
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Plasma etchers, 12" 2010 vintage.
LAM RESEARCH Torus 300S ist ein fortschrittlicher Ätzer/der der neuesten Generation von PVD-Produkten von LAM RESEARCH. Es ist ein vertikales Benchtop-Instrument zum Ätzen, Strippen und Strukturieren von empfindlichen Halbleitermaterialien. Mit seinen extrem schnellen Ätzgeschwindigkeiten bietet Torus 300S überlegene Gleichmäßigkeit und Produktivität. LAM RESEARCH Torus 300S ist ein leistungsstarker, flexibler Ätzer mit hoher Parallelität und geringer Partikelverunreinigung. Der Ätzer ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen wie Ätzen von Supraleitern, MEMS-Bauelementen und Siliziumwafern. Das Hochgeschwindigkeitsätzverfahren eignet sich sowohl für die Batch- und Single-Wafer-Verarbeitung als auch für MEMS. Torus 300S ist mit einer fortschrittlichen Ätzausrüstung ausgestattet, mit der Benutzer sowohl saubere als auch abisolierte Wafer bearbeiten können. Es ist mit zwei unabhängigen Kammern ausgestattet, die jeweils zu beiden Seiten des Werkstücks geätzt werden können. Das einzigartige Design des Systems ermöglicht eine vollständige Gleichmäßigkeit während des gesamten Ätzprozesses. Das Gerät ist für den Einsatz in einer Batch- oder Single-Wafer-Verarbeitungsumgebung ausgelegt. LAM RESEARCH Torus 300S ist auch mit fortschrittlichen Funktionen zur Überwachung, Steuerung und Anpassung des Ätzprozesses ausgestattet. Dazu gehören ein integrierter Vierkanal-Durchflussmesser zur optimalen Gasverteilung sowie ein Druck- und Temperaturregler. Die Maschine umfasst auch verschiedene Sicherheitsmerkmale wie ein Verriegelungswerkzeug, einen Not-Aus-Schalter und einen Überdruckschutzalarm. Neben den Ätzfunktionen verfügt Torus 300S über einen schnell wiederherstellbaren Kryostat, ein hochauflösendes Bildverarbeitungsmaterial und ein Hochleistungs-PVD-Modell für Beschichtungen. Die bildgebende Ausrüstung ist in der Lage, hochauflösende Bilder der geätzten Oberfläche für eine einfache Analyse zu erfassen. Das PVD-System ist ein wichtiger Bestandteil jedes Ätzprozesses, da es dazu beiträgt, dass die richtigen Materialien und die richtige Dicke verwendet werden. LAM RESEARCH Torus 300S ist ein leistungsfähiger und zuverlässiger Ätzer/der, der konstante Leistung und hervorragende Ergebnisse bietet. Seine Kombination aus fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten machen es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die eine Hochleistungs-Ätzeinheit für empfindliche Materialien benötigen.
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