Gebraucht LAM RESEARCH Torus 300S #9268953 zu verkaufen

LAM RESEARCH Torus 300S
ID: 9268953
Dry etchers.
LAM RESEARCH Torus 300S ist eine Ätz-/Aspirationsausrüstung, die entwickelt wurde, um hochgenaues Ätzen und Edelstahlveraschen in großvolumigen Fertigungsanwendungen bereitzustellen. Torus 300S ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, einschließlich eines hochgenauen schwimmenden Spannfutters, um eine präzise Substratplatzierung zu gewährleisten; einen integrierten kaskadierenden HF-Generator zum Mehrfrequenzätzen; einen Freisprechvorgang; und ein webfähiges automatisiertes Prozesssteuersystem. LAM RESEARCH Torus 300S ist eine ideale Wahl für das Ätzen von kleinen und großen Substraten, aufgrund seiner Flachbildschirmfähigkeit und seiner hochgenauen schwimmenden Spannfutter. Sein HF-Generator ermöglicht eine breite Palette verschiedener Ätzprozesse, einschließlich Mehrfrequenzätzen, mit einem vollständig einstellbaren Spannungsbereich. Das schwimmende Spannfutter ermöglicht eine präzise Substratpositionierung, wodurch ein hochgenaues Ätzen und Aschen gewährleistet ist. Zusätzlich ist Torus 300S mit einem Freisprechvorgang ausgestattet, der eine effiziente Edelstahlasche ohne manuellen Eingriff ermöglicht. LAM RESEARCH Torus 300S verfügt zudem über eine webfähige automatisierte Prozesssteuerung, die eine Echtzeit-Überwachung von Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht. Diese Prozesssteuerungsmaschine ist auch für die Prozessoptimierung durch fortschrittliche logische Rezepte konzipiert. Torus 300S umfasst eine Vielzahl von Überwachungsfunktionen, wie ein Echtzeit-Feedback-Tool zur Auftragsverfolgung und -optimierung sowie eine integrierte optische Qualitätskontrolle, um qualitativ hochwertige Ätzprozesse zu gewährleisten. Darüber hinaus wurde LAM RESEARCH Torus 300S entwickelt, um die anspruchsvollsten Umwelt- und Sicherheitsstandards zu erfüllen. Sein Innenraum ist aus Edelstahl und eloxiertem Aluminium gefertigt, was eine langfristige Haltbarkeit gewährleistet. Das Modell ist auch mit einer integrierten Gassicherheitsausrüstung ausgestattet, die alle Prozessgase erfasst und überwacht. Torus 300S wurde entwickelt, um hochgenaue Ätz- und Ascheprozesse in großvolumigen Fertigungsanwendungen bereitzustellen. Sein Leistungsspektrum, wie das hochgenaue schwimmende Futter, der integrierte HF-Generator, das Freisprechverfahren und das webfähige automatisierte Prozessleitsystem, machen es zu einer idealen Wahl für Ätzer und Ascher, die hochpräzise Ergebnisse und maximale Prozesskontrolle benötigen.
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