Gebraucht LAM RESEARCH Torus 300S #9294018 zu verkaufen

LAM RESEARCH Torus 300S ist ein branchenführender Ätzer/Ascher, der anspruchsvolle Funktionen bietet. Dieses System ist das erste seiner Art, das die Kombination innovativer Ätz- und Aschetechnologien für die Verarbeitung komplexer Gerätestrukturen liefert. Die einzigartigen Prozessfähigkeiten, die mit Torus 300S geliefert werden, umfassen die Fähigkeit, professionelles Ätzen und Aschen von Silizium, III/V und einer Reihe anderer Materialien durchzuführen. LAM RESEARCH Torus 300S verfügt über eine großflächige Ätz-/Aschekammer mit hochpräzisen Schrittmotor-angetriebenen Stufen, die größere Wafergrößen bis zu 8 Zoll und erweiterte Ätz-/Aschesequenzen ermöglichen. Ätz- und Ascheprozessfähigkeiten umfassen Rotations- und Vertikalmusterung, dielektrisches Ätzen und Streifen, Musterübertragung, anisotropes Ätzen, Widerstandsätzen und Spaltverschluss. Es hat auch fortschrittliche Software und Steuerhardware für die Kammersteuerung und fortschrittliche Kantenisolierungstechniken. Torus 300S Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um die strengsten Anforderungen zu erfüllen und seine hochpräzise Prozesskontrolle gewährleistet Wiederholbarkeit, um Gleichmäßigkeit in jedem Ätzschritt und überlegenen Produktionsdurchsatz zu erreichen. Es verfügt über überlegene Prozesstreue, die es Anwendern ermöglicht, Strukturen bei < 5nm in uni-direktionaler Musterung mit den geringsten Gleichmäßigkeitseinwirkungen zu produzieren. Darüber hinaus ermöglicht die extrem hohe Produktivität einen Belichtungsbereich von 200 bis 400 nm bei gleichbleibender kritischer Funktionsleistung. Die benutzerfreundliche Ausstattung bietet eine Reihe von nahtlos integrierten Hardwarekomponenten und Funktionalitäten im Vergleich zu ihren Vorgängern und ist damit das ideale System für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheanwendungen wie Advanced CMOS, MEMS, Power ICs, Endverstärker, RFID, MEMs, MCMs und andere Anwendungen. Es kann auch spezielle Ätzprozesse wie Features mit hohem Seitenverhältnis, Nanochannel, Ätztrockenätznachbearbeitung und mehr unterstützen. Insgesamt ist LAM RESEARCH Torus 300S ein Premium-Ätzer/Ascher mit der neuesten Technologie und proprietären Funktionen, die es zu einem der Top-Ätz-/Aschemaschinen für komplexe Gerätestrukturverarbeitung machen. Es ist ideal für Gerätedesigner, die höchste Präzision, Durchsatz und Zuverlässigkeit in ihren Prozessen benötigen.