Gebraucht LAM RESEARCH V2 TM #9397706 zu verkaufen

LAM RESEARCH V2 TM ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um eine Trockenbearbeitung mit geringem thermischen Einfluss auf ein Substrat durchzuführen. Es ist ein Dual-Magnetron, Dual-Prozess-Source-System mit einer erweiterten Steuerungsplattform zur Unterstützung verschiedener Prozessanforderungen. V2 TM bietet hervorragenden Schutz kritischer Teile und Komponenten und bietet gleichzeitig eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. LAM RESEARCH V2 TM verwendet sowohl Ionen als auch Radikale, um das Ätzen oder Aschen des Substrats zu erleichtern. Es enthält zwei leistungsstarke Magnetrons mit zwei Stromquellen, die auf das gewünschte Prozessprofil abgestimmt sind. Die Dual-Magnetrons sind in einer Klasse 1/Semiconductor Grad (SCG) Edelstahlkammer untergebracht, die eine effiziente Wärmeableitung ermöglicht und gewährleistet, dass die Temperatur gut innerhalb der Prozessgrenzen liegt. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine automatisierte Prozesssteuerung (PCU), um die Überwachung und Steuerung des Ätzers/Aschers zu erleichtern. Darüber hinaus ist eine ausgeklügelte Wafer-Handhabungsmaschine in das Werkzeug integriert, um Produktivität und Gleichmäßigkeit zu optimieren. Die konfigurierbare Vakuumanlage sorgt für Prozess- und Vakuumkonsistenz der zu bearbeitenden Teile. Der V2 TM-Ätz-/Ascheprozess wird vollständig computergesteuert und überwacht, von der Konfiguration der Prozessbedingungen über die Erfassung von Prozessdaten bis hin zur Optimierung der Prozessleistung. Leistungsstarke und fortschrittliche Schnittstellensoftware ermöglicht die einfache Integration in bestehende oder zukünftige Automatisierungssysteme und gewährleistet einen reibungslosen und produktiven Betrieb. LAM RESEARCH V2 TM bietet zudem eine überlegene Prozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit mit einem produktionsfähigen Overhead-CAE-Modell, das die Substratheizung minimiert. Der Overhead CAE ermöglicht auch einen einfachen Transport der Substrate und Lastverschlusselemente, wodurch eine reibungslose und konsistente Waferübertragung gewährleistet ist. V2 TM Ätzer/Ascher ist die ideale Wahl für eine kostengünstige und zuverlässige hochvolumige Trockenbearbeitung. Mit seiner fortschrittlichen Steuerung und robusten Ausrüstungskomponenten gewährleistet LAM RESEARCH V2 TM eine verbesserte Zuverlässigkeit und hohe Durchsatzleistung.