Gebraucht LAM RESEARCH Vector Express #9099741 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9099741
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
CVD System, 12"
Front UI
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module Controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC No.0, 1, 2, 3 HDSIOC
ATM Robot & controller: Brooks reliance 8 / Friction type / controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
Main power box: 208VAC /3 Phase main 150A, full load 100A
ULPA Filter
Pod loader: 3 / Fix load 6M
LL/FE Interface PCB: 03-283968-00
ATM Door valve: (2) VAT
Chamber slit valve: (2) SMC
L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor
Vent / purge valve
L/L On-board pump: Kawasaki 27-283364-00 NV60N-2
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX 2500
HF Auto matcher: 27-279938-00 / Navigator 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pedestal: Standard type
Showerhead
Endpoint detector: IREPD - MKS
Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436
MFC: Brooks SLA7950S
MFC A: N2O(L) 1500
MFC B: N2 20000
MFC C: Ar 10000
MFC 1: SiH4 1500
MFC 2: N2 10000
MFC 5: He 20000
MFC 6: NH3 20000
MFC 7: N2O(H) 25000
MFC 8: O2 30000
MFC 9: NF3 10000
Arm position detector: Local manufactured option
Gauge monitoring kit: Local manufactured option
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Stn No.1 pin lift type: Servo motor
2007 vintage.
LAM RESEARCH Vector Express ist ein Ätzer/Ascher der nächsten Generation, der den Anforderungen der fortschrittlichsten Anwendungen in der Halbleiterindustrie gerecht wird. Die Ausrüstung ist mit vier leistungsstarken Ätz- und Aschesystemen ausgestattet, die jeweils eine Vielzahl von Materialien unabhängig ätzen und aschen können. Die Ätz- und Aschesysteme sind einzigartig mit leistungsstarken automatisierten Steuerungssystemen entworfen, um zuverlässige und genaue Ergebnisse zu liefern. Dieses System ermöglicht es dem Anwender, mehrere Ätz- und Aschesysteme gleichzeitig zu betreiben und gemeinsam die besten Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Das automatisierte Steuergerät bietet eine einfache Benutzeroberfläche mit intuitiven Menüs, mit denen der Benutzer die Ätz- und Ascheprozesse zuverlässig steuern kann. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie eine breite Palette von Ätz- und Ascherezepten bedient, um sicherzustellen, dass der Benutzer die gewünschten Prozessschritte erreichen kann. Das Tool verwendet auch erweiterte Steuerungsfunktionen wie variable Ätzgeschwindigkeiten, programmierbare Temperatur- und Druckeinstellungen und variable Gasströme. Das Asset enthält auch Diagnosetools zur Überwachung des Ätz- und Ascheprozesses, die eine bessere Qualitätskontrolle ermöglichen. Vector Express nutzt verbesserte Sicherheitsfunktionen, um die Konsistenz und Genauigkeit des Ätz- und Ascheprozesses zu gewährleisten. Es verwendet ein einzigartiges Kammerbauverfahren, das die empfindlichen Komponenten von der rauen Umgebung der Kammer isoliert, um sicherzustellen, dass die Ätz- und Aschevorgänge durchgeführt werden können, ohne dass die Kammer beschädigt wird. Das Modell enthält auch eine einzigartige dampfdichte Dichtung, um zu verhindern, dass gefährliche Chemikalien, die beim Ätzen und Aschen verwendet werden, in den Arbeitsbereich gelangen. Das Gerät enthält auch ein leistungsfähiges Diagnosetool, das Echtzeit-Berichte über den Ätz- und Ascheprozess liefert, so dass der Benutzer die Ätz- und Ascheparameter entsprechend überwachen und anpassen kann. Dieses Diagnosetool ermöglicht eine schnelle Fehlerbehebung und gibt dem Benutzer Feedback zur Systemleistung. Dieses Echtzeit-Feedback sorgt dafür, dass der Anwender das Gerät für höchste Qualitätsätz- und Ascheergebnisse optimieren kann. LAM RESEARCH Vector Express bietet zudem verbesserte Leistungsmerkmale, die die Betriebskosten der Maschine senken. Es erfordert wenig oder keine manuelle Wartung, und seine selbstkalibrierenden Funktionen gewährleisten gleichbleibende Qualität und Zuverlässigkeit. Der modulare Aufbau ermöglicht den Einbau zusätzlicher Ätz- und Aschesysteme und bietet gleichzeitig Flexibilität, das Werkzeug je nach Bedarf des Anwenders nach oben oder unten zu skalieren. Vector Express ist ein leistungsstarkes, hochzuverlässiges Werkzeug, das Ätz- und Aschelösungen bietet, um selbst die anspruchsvollsten Anwendungen in der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Flexibilität stellen sicher, dass es ein integraler Bestandteil der Produktionslinie eines Halbleiterherstellers bleiben kann.
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