Gebraucht LAM RESEARCH Vector Express #9137283 zu verkaufen

LAM RESEARCH Vector Express ist ein Hochleistungs-Ätzer (auch allgemein als Ascher bezeichnet), der für Wafer-Level-Verarbeitungsanforderungen entwickelt wurde. Es wird für eine Vielzahl fortschrittlicher Technologie-Ätzanwendungen wie Durchsilizium-via (TSV), Halbleiterverpackungen, MEMS und optische Komponenten verwendet. Vector Express verwendet die LIEE-Technologie (Light-induced Electrochemical Etching), ein mildes Ätzverfahren, das auf einer Vielzahl von Substraten verwendet werden kann, ohne dass darunter liegende Filme beschädigt oder entfernt werden. LAM RESEARCH Vector Express Ausrüstung ist in der Lage, hochpräzise Ätzen unter kontrollierten Bedingungen, Erreichen extrem präzise Muster bis zu 10 nm und die Ätzfaktoren für die Herstellung von Hochleistungsgeräten benötigt. Es ermöglicht die Einstellung unterschiedlicher Bedingungen, wie Ätzpulsparameter, Lichtquellenintensität und Gasart für jede Probe oder Chemikalie, wodurch eine optimale Ätzleistung für jedes Substrat ermöglicht wird. Das Hauptverfahren und der Ofen verwenden eine Vakuumkammer, um Partikelzahlen und Kontaminationen aus dem Prozess zu reduzieren. Vector Express ist temperaturgeregelt, mit thermoelementgebundener Temperaturregelung. Dieses Merkmal gewährleistet eine Temperaturstabilität, die für einheitliche Ätzprozesse und die Herstellung hochwertiger Geräte entscheidend ist. Das System verwendet auch eine automatisierte Kühleinheit für Zeiteffizienz, wodurch die Notwendigkeit, zu warten, bis der Kühlkreislauf beendet ist, und ermöglicht eine Non-Stop-Verarbeitung. Die Maschine bietet auch automatisierte und Benutzeroberflächenlösungen, wie Widerstandskontrolle, Rezeptsteuerung und vollständige Prozessüberwachung, um Präzision und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet das Tool eine integrierte Prozessdiagnose einschließlich optischer Emissionsspektrumdetektion und -analyse sowie bildgebende Funktionen wie Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und Kontaktwinkelbildgebung (CAI). LAM RESEARCH Vector Express wurde entwickelt, um den hohen Prozessanforderungen wissenschaftlicher Forschung und industrieller Fertigung gerecht zu werden. Die Anlage ist ISO 9001 und ISO 14001 zertifiziert und erfüllt die strengen Sicherheits- und Qualitätsanforderungen der Industriestandards.