Gebraucht LAM RESEARCH Vector Extreme #9137285 zu verkaufen

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9137285
Wafergröße: 12"
CVD System, 12".
LAM RESEARCH Vector Extreme ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, eine Art chemisch-mechanisches Polieren (CMP), das verwendet wird, um eine hochpräzise, strukturierte Oberfläche auf Halbleitersubstraten zu bilden. Es bietet eine hervorragende Strukturierung für Serienanwendungen. Die Flexibilität und skalierbaren Funktionen von Vector Extreme machen es zu einem der am häufigsten verwendeten Ätzer/Ascher in der Branche. LAM RESEARCH Vector Extreme verfügt über Dual-und Triple-Head-Module, die High-Speed-Vielseitigkeit in Ätzprozessen ermöglichen, sowie die Fähigkeit, verschiedene Prozessschritte zu kombinieren, um den Durchsatz zu erhöhen. Das Dreikopfmodul ist speziell für die hochpräzise Musterung und Geräteherstellung konzipiert, sodass Anwender selektive Ätzprozesse mit einem einzigen Scan erreichen können. Vector Extreme beinhaltet ein modernes Hochfrequenz-Antriebssystem, um eine gleichmäßige Ätz- und Chargenkonsistenz für eine hochpräzise Strukturierung zu gewährleisten. LAM RESEARCH Vector Extreme verfügt über mehrere einzigartige Eigenschaften, um Kosten zu senken und die Produktivität zu verbessern. Seine iterative Scan-Funktion ermöglicht eine schnelle Abstimmung der Ätzparameter, während seine Multi-Die-Fähigkeit eine hochpräzise Musterung in einzelnen Wafern mit mehreren Werkzeugen ermöglicht. Das integrierte Scan-Filter-System minimiert Blockaden und sorgt für eine reibungslose und unterbrechungsfreie Produktion. Darüber hinaus ermöglicht sein Minirampsystem eine präzise Bewegung des Ätzkopfes, erhöht die Genauigkeit und reduziert verschwendete Chemikalien und Zeit. Die Doppelkopfmodule von Vector Extreme bieten eine einzigartige Kombination aus abrasiven und chemischen Polierfunktionen. Das umgebende Mediendesign bietet eine verbesserte Kühlfähigkeit und reduzierte Substratverzerrung, was verbesserte Ausbeuten ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die proprietäre Düsentechnologie von LAM RESEARCH Vector Extreme eine gleichmäßige Ätzverteilung bei Musterprozessen. Die erweiterten Funktionen von Vector Extreme werden durch Flexibilität und Skalierbarkeit weiter verbessert. Sein Mainframe kann schnell neu konfiguriert und angepasst werden, um spezifische Fertigungsanforderungen zu erfüllen. Die Vielzahl an Ätzköpfen, Beschichtungsmitteln, Spinnern und Kammern ist ebenfalls leicht austauschbar, sodass die Hersteller schnell von einem Prozessschritt zum nächsten wechseln können. Insgesamt sind die erweiterten Fähigkeiten und die Skalierbarkeit von LAM RESEARCH Vector Extreme ein ideales Werkzeug für Serienanwendungen. Seine hochmodernen Funktionen ermöglichen präzise Strukturierungen und schnellere Ätzprozesse, während der modulare Aufbau es Herstellern ermöglicht, ihn schnell an sich ändernde Fertigungsbedingungen anzupassen. Seine Kosteneinsparungen und Effizienz verbessern die Erträge und machen es zu einer der führenden Ätz- und Aschelösungen der Branche.
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