Gebraucht LAM RESEARCH Vector Extreme #9235820 zu verkaufen

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9235820
Wafergröße: 12"
CVD System, 12".
LAM RESEARCH Vector Extreme ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um überlegene Zuverlässigkeit, Produktivität und Präzision zu liefern. Vector Extreme bietet eine integrierte Lösung, um die Leistung zu maximieren und die Prozesskontrolle zu verbessern und gleichzeitig die Variabilität zu verringern. Es bietet höchste Dichte und Genauigkeit bei Ätz- und Ascheprozessen, um die anspruchsvollsten Anwendungen anzugehen und gleichzeitig die Ätzzeit zu reduzieren. Das fortschrittliche Design von LAM RESEARCH Vector Extreme zeichnet sich durch einen optimierten Kantenübergang, ein ausgeklügeltes Thermomanagement und feinteilige Beschichtungsfunktionen aus, die es ermöglichen, überlegene Ätzgenauigkeit und Präzision für jede Anwendung zu liefern. Das Instrument ist mit einer All-in-One-Performance-Plattform mit einer offenen Architektur konzipiert, die eine effiziente Prozessintegration und optimale Performance aller Komponenten ermöglicht. Es nutzt eine innovative Zweizonen-Prozesskammer für schnelle Reaktion und hohe Treue Ergebnisse. Vector Extreme nutzt die neuesten Vakuum/Gas-Schnittstellentechnologien, um die Ladung der Kammer zu reduzieren und überschüssige Partikel zu minimieren. Es ist auch mit variabler Strahltechnik ausgestattet, die schnelle und präzise Beobachtungen des Ätzprozesses ermöglicht. Es verfügt über Hochfrequenzleistungsquellen für verbesserte Genauigkeit und Reproduzierbarkeit und fortschrittliche Strahlsteuerungstechnologie für schnelles Umschalten zwischen Ätz-/Aschehintergrund. LAM RESEARCH Vector Extreme wurde mit einem erweiterten Softwarepaket zur Steuerung und Prozessoptimierung entwickelt. Es ist in der Lage, programmierbare, automatisierte Ätzprozesse durchzuführen und gleichzeitig enge Steuerparameter beizubehalten, um eine genaue Ausgabe zu gewährleisten. Das Instrument ist auch mit einem leistungsstarken Datenerfassungssystem ausgestattet, mit dem Benutzer die Ätz- und Ashing-Qualität im Laufe der Zeit verfolgen können. Vector Extreme wurde mit einer modularen Plattform entwickelt und ist in mehreren Konfigurationen erhältlich. Es ist für verschiedene Anwendungen und vollständige Systemautomation ausgelegt. Es ist eine ideale Option für große Durchsatzanwendungen und verschiedene Ätz- und Ascheeffekte zu testen. Es kann auch für Forschungsanwendungen einschließlich der Charakterisierung neuer Folienmaterialien und -verfahren verwendet werden. LAM RESEARCH Vector Extreme ist ein zuverlässiger, vielseitiger Ätzer/Ascher, der überlegene Leistung und Prozessgenauigkeit für jede Ätz- oder Ascheanwendung liefert.
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