Gebraucht LAM RESEARCH Vector Extreme #9315263 zu verkaufen

LAM RESEARCH Vector Extreme ist ein High-End-Ätzer/Ascher. Es ist in der Lage, dichte Merkmale auf fortgeschrittenen Substraten wie Siliziumscheiben, Verbundhalbleitermaterialien und optischen Medien zu belichten. Die fortschrittliche induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) und das hochmoderne Design bieten einen hohen Durchsatz und eine außergewöhnliche Ätzgleichförmigkeit mit höchsten Standards für die Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Prozesse. Dieser Ätzer ist mit einem breiten Spektrum von Prozessgasen ausgestattet, darunter Sauerstoff (O2), Chlor (Cl2), Bortrichlorid (BC1), Schwefelhexafluorid (SF6) und Bromwasserstoff (HBr). Die Genauigkeit der Gasförderausrüstung mit Vector Extreme ermöglicht die präzise Steuerung der optimalen Gaszusammensetzung für beste Ätzqualität. LAM RESEARCH Vector Extreme ist ein modularer Ätzer, der ein einfaches Upgrade der Prozessmodule ermöglicht, z. B. ein Loadlock-Upgrade für größere und größere Substrate, ein ECR-Upgrade (Electron Cyclotron Resonance) für längere Ätzzeiten und ein erweitertes optisches Endpunkterkennungs-Upgrade (OPD). Vector Extreme ermöglicht eine fortschrittliche Substratreinigung und Vorbehandlung mit integrierten Degas und sauberen Werkzeugen und bietet eine hochpräzise Kontrolle der Ätzprozessparameter für optimierte Prozessergebnisse. LAM RESEARCH Vector Extreme ist mit einer räumlichen Filtereinheit ausgestattet, um die Kontamination von geladenen Partikeln zu minimieren, indem die ankommenden Elektronen im Plasma getrennt und Partikel aus den reaktiven Radikalen im Plasma herausgefiltert werden. Seine fortschrittliche Gasduschkopfmaschine sorgt dafür, dass die Plasmabahn gleichmäßig über die Substratoberfläche verteilt ist, was zu einer gleichmäßigen Belichtung des Ätzmittels auf dem Substrat führt. Vector Extreme ist kompatibel mit Wafern verschiedener Größen, darunter 300mm und 200mm. LAM RESEARCH Vector Extreme verfügt außerdem über eine leistungsstarke Computer- und grafische Benutzeroberfläche zur Überwachung, Speicherung, zum Zugriff und zur Verfolgung von Ätzrezepten. Es überwacht und sammelt Daten wie Temperatur, Zeit, HF-Leistung, Plasmadichte usw., um den Ätzprozess zu optimieren und potenzielle Anomalien zu vermeiden. Vector Extreme ist ein leistungsstarker Ätzer, der sich ideal für ultraseichte oder tiefe Ätzanwendungen und Anwendungen mit hohem Seitenverhältnis eignet. Es ist perfekt für Produktion, F&E und fortgeschrittene Forschungsanwendungen.