Gebraucht LAM RESEARCH Vector Extreme #9315265 zu verkaufen

LAM RESEARCH Vector Extreme ist ein Ätzsystem, das den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses Ätzwerkzeug ist hochgradig konfigurierbar und bietet eine präzise Abscheidung für verschiedenste Materialien. Es verwendet kombinierte Ätz-, Abscheidungs- und Stickstoffplasma-Techniken, um optimale Ausbeuten zu erzielen und die Ätzqualität zu verbessern. Es ist mit dem neuesten Modell der fortschrittlichen Plasmaquellentechnologie entworfen, die mehr Genauigkeit, Kosteneinsparungen und ausgezeichnete Ätzgleichförmigkeit bietet. Darüber hinaus bietet es eine flexible, intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. Vector Extreme ist mit einer Zweiebene Ätzquelle ausgelegt, die jede Ätzkammer mit einer eigenen unabhängigen Ätzquelle versorgt. Dies gewährleistet höchste Ätzgenauigkeit über eine Reihe von Materialien mit überlegener Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. Es kommt auch mit einer Low-Power-Magnetron-Quelle, die den Ätzprozess ergänzt. Dies trägt dazu bei, den Stromverbrauch zu minimieren und gleichzeitig einen optimalen Ätzprozess beizubehalten. Das Tool enthält auch ein einzigartiges Geschwindigkeitsregelungsmodul, das es ermöglicht, Ätz- und Ablageparameter auf der Grundlage spezifischer Prozessanforderungen anzupassen. LAM RESEARCH Vector Extreme verwendet eine Kombination aus Ätzen und Abscheidung, um gewünschte Ätzprofile zu erzielen. Dies wird durch eine einzigartige DVES-Technologie (Dynamic Vacuum Etch Sequence) erreicht, die Ätzraten und Abscheidungsprofile für optimale Ausbeute, Stabilität und Reproduzierbarkeit einstellt. Es setzt auch auf ein Nitrogen Plasma AZE (NPAZE) -Verfahren, um eine unübertroffene Flexibilität und Kontrolle über den Nitrid-Entfernungsprozess zu bieten. Das System bietet auch fortschrittliche Düsenkompensationstechniken, die eine genauere und wiederholbare Ätzung ermöglichen. Dies wird ermöglicht, indem die Ätzquellen mit fortschrittlicher Düsensteuerung ergänzt werden, was zu einer besseren Wiederholbarkeit und verbesserten Ausbeuten führt. Dies ermöglicht auch genauere und präzisere Ätzraten. Vector Extreme bietet auch die Integration mit anderen Werkzeugmodulen, um Kosten zu senken und die Prozessoptimierung zu verbessern. Es kann mit der ExpellerTM Technologie verwendet werden, wodurch Ätzprozesse in Echtzeit gesteuert werden können. Dies hilft, die Produktionszeit zu reduzieren und die Maschinenauslastung zu verbessern, was schnellere und genauere Prozesse ermöglicht. Dieses System verfügt über eine breite Palette von Funktionen und Vorteilen, so dass es ideal für eine Vielzahl von Prozess- und Produktanwendungen ist. Es ist hochgradig konfigurierbar und bietet präzise Ätzfunktionen, so dass Anwender mit der minimalen Menge an Ressourcen eine optimale Ausbeute und Leistung erzielen können. Mit seinen fortschrittlichen Ätz- und Abscheidungstechniken ist LAM RESEARCH Vector Extreme in der Lage, die anspruchsvollsten Präzisionsätzanforderungen zu erfüllen.