Gebraucht LAM RESEARCH Vector Frame #293667429 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Vector Frame ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher zum Ätzen und Entwickeln einer breiten Palette von Substraten. Diese Maschine verfügt über einen hohen Durchsatz, zuverlässige Konstruktion, die eine Vielzahl von Substraten aufnehmen kann. Es ist mit den modernsten Technologien sowohl in der Ätzung und Entwicklung ausgestattet. Vector Frame verwendet eine Dual-Beam Evaporation Elektronenkanone, die ein Hochgeschwindigkeitsätzen von Substraten ermöglicht, ohne die Auflösung zu beeinträchtigen. Der Ätzvorgang wird durch eine Mehrkammermotorstufe überwacht, die eine präzise Strahllenkung für eine gleichmäßige Bearbeitung über den gesamten Wafer ermöglicht. Substrate werden in den Rahmen mit einem Vierpfosten-mechanischen System eingespannt, das schnelles Be- und Entladen ermöglicht. LAM RESEARCH Vector Frame verfügt außerdem über ein HF-Modul zum weichen Backen von dünnen Substraten und ein Load-Lock-System mit einem Helium-Leck, das eine Waferbearbeitung in inerter Atmosphäre ermöglicht. Die Waferbearbeitung kann auch mit einem Heliumwäscher verbunden sein, um eventuelle Verunreinigungen aus dem System zu entfernen. Vector Frame hat mehrere Vorteile gegenüber herkömmlichen Systemen. Es entfällt die Notwendigkeit eines Vakuumbackprozesses, was Zeit und Kosten spart. Zusätzlich kann es Substrate von 2 „bis 4“ im Durchmesser mit einer Genauigkeit von 4 Mikron verarbeiten. Die Maschine kann bis zu 20 Wafer pro Stunde bearbeiten und ist extrem einfach zu bedienen. LAM RESEARCH Vector Frame ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher mit einer Vielzahl von Funktionen. Es ist ideal für das hochpräzise Ätzen und Bearbeiten einer Vielzahl von Substraten. Die Maschine bietet exzellente Genauigkeit und Ergebnisse mit Präzision und Wiederholbarkeit. Mit seinen erweiterten Funktionen ist Vector Frame eine gute Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Entwicklungsanwendungen.
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