Gebraucht LAM RESEARCH Versys Kiyo #9223498 zu verkaufen

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ID: 9223498
Wafergröße: 12"
Chamber and gas box, 12" Pump and chiller does not include.
LAM RESEARCH Versys Kiyo ist ein Ätzer/Ascher, der überlegene Schneidgenauigkeit bietet. Es ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher mit ausgezeichneter Produktivität und zuverlässiger Haltbarkeit und wird häufig in der Halbleiterindustrie verwendet. Versys Kiyo nutzt eine einzigartige Doppel-End-Disk-Typ-Technologie, die effektiv eine Vielzahl von Materialien mit Präzision und Genauigkeit ätzen und aschen kann. LAM RESEARCH Versys Kiyo verfügt über eine Dreizonen-Ionenquelle, in der ein asymmetrischer Bogen zwischen zwei Elektroden gebildet wird, um einen fokussierten Ionenstrahl zu erzeugen. Dieser fokussierte Strahl ermöglicht das präzise Ätzen und Aschen kleiner Merkmale. Versys Kiyo umfasst auch eine breite Palette von Gasen zum Ätzen und Aschen, wie Fluorkohlenwasserstoff, Sauerstoff, Chlor, Stickstoff und SF6. Die Hochdruckgasquelle sorgt dafür, dass jedes Gas vor Erreichen des Substrats seinen optimalen Druck erreicht, was zu einem gleichmäßigen Ätzen und Aschen von Material führt. LAM RESEARCH Versys Kiyo vereint hohe Genauigkeit, ausgezeichnete Produktivität und zuverlässige Haltbarkeit. Der Ätz- und Aschevorgang ist äußerst präzise und der Gasstrom wird so geregelt, dass auch bei kleinen Merkmalen ein gleichbleibendes Ergebnis gewährleistet ist. Versys Kiyo unterstützt Chargen- oder Inline-Prozesse sowie Mehrkammerbetriebe für maximale Produktionseffizienz. Die intuitive Software und die benutzerfreundliche Bedienung machen LAM RESEARCH Versys Kiyo einfach und benutzerfreundlich. Darüber hinaus ist Versys Kiyo mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie Übertemperatur- und Überstromschutz, automatischer Systemabschaltung und einem Absperrschlüssel für zusätzliche Sicherheit ausgestattet. LAM RESEARCH Versys Kiyo bietet ein hohes Maß an Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit, um ein konsistentes Ätzen und Aschen von Material zu gewährleisten. Versys Kiyo ist eine ausgezeichnete Wahl für das Ätzen und Aschen in einer breiten Palette von Dielektrika, Polymeren und Halbleitern.
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