Gebraucht LEYBOLD HERAEUS 301 #293651893 zu verkaufen

Hersteller
LEYBOLD HERAEUS
Modell
301
ID: 293651893
Weinlese: 1990
Reactive Ion Etcher (RIE) 1990 vintage.
LEYBOLD HERAEUS 301 ist ein Ätzer oder Ascher, der in der Photolithographie von Mikro- und Nanotechnologie-Geräten verwendet wird. Es besteht aus einer kurzwelligen Infrarot-Quarzlampe, einem High-Speed-Scanning-Galvanometer und einer SPS (Programmable Logic Controller). Die Quarzlampe sendet Infrarotlicht aus, das von einem vom Galvanometer gesteuerten oszillierenden Spiegel abgelenkt wird. Das abgelenkte Licht wird dann auf ein Substrat fokussiert, auf dem die Elemente geätzt oder axt werden sollen. 301 ist ein hochgenauer Ätzer/Ascher, der für die Produktion integrierter Schaltungen verwendet wird. Es verfügt über eine Präzision von ± .01 Mikrometer, die den höchsten Standards für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entspricht. Das Gerät ist auch sehr langlebig und verfügt über ein Airknife, das sicherstellt, dass alle Elemente während des Ätz- oder Aschevorgangs sauber gehalten werden. LEYBOLD HERAEUS 301 hat einen weiten Betriebstemperaturbereich von 125 ° bis 400 ° C und einen einstellbaren Spannungsbereich von 10 bis 35 Volt. Das Gerät weist außerdem einen einstellbaren Tiefenbereich und einen einstellbaren Breitenbereich von 0,1 bis 0,9 Mikrometer auf. 301 weist eine Vielzahl von Modi auf, die auf der Grundlage der gewünschten Prozedur ausgewählt werden können. Beispielsweise wird der Ätzmodus für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet, während der Aschebetrieb für Lithographie- und Ätzprozesse verwendet wird. Der Scan-Modus kann auch auf schnellen oder langsamen Betrieb eingestellt und auch auf dünnen Substraten verwendet werden. LEYBOLD HERAEUS 301 wird über eine Touchscreen-Schnittstelle gesteuert, die dem Benutzer verschiedene Einstellungsoptionen wie Sub-Micron-Steuerung, UV-Lampensteuerung, SPS-Steuerung und Systemüberwachung bietet. Das Gerät verfügt auch über einen integrierten Computer, der die Datenprotokollierung erleichtert und eine automatische und manuelle Kontrolle der Parameter ermöglicht. Abschließend ist 301 ein fortgeschrittener Ätzer/Ascher, der für verschiedene Photolithographieverfahren verwendet werden kann. Seine Präzision, Haltbarkeit, Temperaturbereich, Spannungsbereich und einstellbare Tiefen machen es sehr zuverlässig und genau. Sein Bordcomputer und seine Schnittstelle machen es einfach, verschiedene Substrate und Prozesse zu bedienen und anzupassen.
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