Gebraucht LFE 104 #9008475 zu verkaufen

LFE 104 ist ein Ätzer/Ascher für die Halbleiterverarbeitung. Diese Maschine ist in der Lage, dünne, konforme Materialschichten aus einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Siliziumscheiben, zu ätzen. 104 verwendet einen Hochleistungs-Mikrowellengenerator zur präzisen Tiefenkontrolle zusammen mit einer Vielzahl von Prozessgasen, um die gewünschte Oberflächengüte zu schaffen. Das Gerät umfasst auch eine Pulsed Plasma Source (PPS) für Ätz- und andere Oberflächenbehandlungsprozesse wie Passivierung und Reflow. LFE 104 ist mit einer großen Kammer ausgestattet, die das Ätzen von Wafern mit großem Durchmesser bis zu 8 'ermöglicht. Die Kammer wird zwischen vier Wänden aus erhöhten CE-Keramikfliesen platziert, um die Lebensdauer von Ätzkammern zu erhöhen, während die Kreuzkontamination verringert wird. Darüber hinaus ist die Maschine mit vielen Sicherheitsmerkmalen wie chemischer und gefährlicher Materialeindämmung, Temperaturüberwachung und Sicherheitsabsperrungen ausgelegt. 104 verfügt über eine Mehrzonen-Prozesskammer und ein adaptives Wärmeverteilungssystem für verbesserte Prozessstabilität sowie eine Hochgeschwindigkeitsgas- und Chemikalienzufuhreinheit für verbesserte Reaktionszeiten. Die Maschine bietet auch Präzisions-Z-Achsen-Scannen mit XY-Bewegung und hochauflösende Bildgebung für manuelle und automatisierte Prozesse. Eine Touchscreen-Bedienoberfläche ist für eine einfache Bedienung im Lieferumfang enthalten. LFE 104 ist in der Lage, zu Markierungsschichten wie Metall und Polysilizium zu ätzen oder zu veraschen und präzise Oberflächengüten und Merkmalsdichten zu erzielen. Ätzverarbeitungs-Setups können für eine Vielzahl von Parametern wie Ätzrate, Ätzselektivität, Gleichmäßigkeit und mehr optimiert werden und gleichzeitig zuverlässige Substratätzprofile bereitstellen. Dieses Tool ist ideal für die fortschrittliche Verarbeitung, da es hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit erreichen kann.