Gebraucht LFE 501 #83003 zu verkaufen

LFE 501
Hersteller
LFE
Modell
501
ID: 83003
Plasma barrel etcher Quartz barrel: 10" diameter x 20" deep (3) Gas inputs ENI RF Generator Fomblin prepped direct drive vacuum pump included Fomblin oil not included.
LFE 501 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, die genauesten und detailliertesten Ätz- und Ascheprozesse durchzuführen. Es ist die perfekte Maschine für anspruchsvolle Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Biologie und Nanotechnologie. 501 ist mit einem hochspezifizierten optischen System aufgebaut, das feine, komplizierte Muster auf Oberflächen mit einer Auflösung von mindestens 20 µm erzeugen kann. Mit seiner superglatten Bewegungssteuerung sorgt er auch bei langen Prozessen für höchste Präzision. Die integrierte Gaskammer reduziert die Prozessverschmutzung, während der eingebaute Wäscher die Luftverschmutzung reduziert. Mit dem lateralen Geschwindigkeitsregelsystem behält LFE 501 jederzeit eine schnelle und präzise Bewegung bei und ermöglicht perfekte Ergebnisse. Das Kammerdesign sorgt für einen hohen Durchsatz, der die Verarbeitung dünner Materialien wie Dünnschichtmembranen und MEMS ermöglicht. Die Ätz- und Ascheprozesse können in einer Einheit für mehrstufige Anwendungen wie Mustern und Aschen kombiniert werden. 501 verfügt über einen dreidimensionalen, vibrierenden Vorschubmechanismus, der angepasst werden kann, um verschiedene Objekte aufzunehmen, so dass er in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien zu handhaben. Durch die hochpräzisen Linearmotoren ist eine präzise Positionierung und kontrollierte Bewegung möglich. Die Prozessoreinheit verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Mikroprozessor mit eingebetteter Software, die speziell für LFE 501 entwickelt wurde und benutzerdefinierte Ätz- und Ashing-Protokolle ermöglicht. Das System verfügt außerdem über ein Touchscreen-Display, das eine bequeme Interaktion mit dem Gerät ermöglicht. 501 ist ein leistungsstarker und vielseitiger Ätzer/Ascher mit einer beeindruckenden Leistung. Das kompakte Design und die flexible Programmierung machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Anwendungen, die eine hohe Genauigkeit und maximale Geschwindigkeit erfordern. Es kann in einer Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen verwendet werden, was es zu einem echten Mehrzweckwerkzeug macht.
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