Gebraucht LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 #83002 zu verkaufen

LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 ist eine Art Ätzer und Ascher von Lam Systems Ltd, einem Anbieter von überlegenen Hochtemperatur-Bearbeitungswerkzeugen. Dieser Trockenätzer dient in erster Linie zum Entfernen verschiedener dünner Materialschichten von einem Substrat und zum Abscheiden dünner Materialschichten auf dem Substrat. PFS-PDE-PDS 501 & 504 verwendet ein Mehrgasgemisch aus verschiedenen Gasen, die über mehrere Einlässe in die Arbeitskammer geleitet werden. Zur präzisen Steuerung des Gasgemisches wird eine Art Mehrgasinjektor verwendet. Der interne Venturi ermöglicht die Erstellung von richtigen Gasströmungsmustern, um ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Dieses Gerät hat auch zwei unabhängige motorisierte Vakuumkammern, eine obere Kammer und eine untere Kammer, die mit einem spezialisierten Ventil verbunden sind. Dieses Ventil ermöglicht eine präzise Steuerung sowohl der oberen als auch der unteren Kammer. Die obere Kammer dient hauptsächlich der Substratabscheidung, während die untere Kammer hauptsächlich der Substratätzung dient. Das System wurde entwickelt, um hohe Ätz- und Abscheideraten sowie eine präzise Kontrolle des Prozesses zu gewährleisten. Es ist voll programmierbar mit einem computergesteuerten Steuergerät. Diese Maschine ermöglicht die automatische Steuerung der Geschwindigkeit, des Drucks und der Temperatur des Geräts. Es bietet auch Alarmmeldung, wenn der Prozess zu langsam oder schnell wird. LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 ist ein zuverlässiger, vielseitiger Ätzer und Ascher, der eine hervorragende Leistung für die Entfernung dünner Materialschichten von Substraten und für die Abscheidung dünner Materialschichten auf Substraten bietet. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Halbleiterwaferätzen, MEMS-Geräteherstellung und Plasmaätzen von organischer Photovoltaik.