Gebraucht MARCH AP 1000 #9311918 zu verkaufen

MARCH AP 1000
Hersteller
MARCH
Modell
AP 1000
ID: 9311918
Weinlese: 2004
Plasma cleaner 2004 vintage.
MARCH AP 1000 ist ein Ascher oder Ätzer, hergestellt von MARCH Instruments. Es ist eine eigenständige, Bank Top-Ausrüstung entwickelt, um Substrate, in der Regel Gruppe III und Gruppe IV Halbleiter, mit hoher Präzision und Genauigkeit zu ätzen. Es ist mit einer einteiligen Quarzkammer sowie einer Programmable Logic Controlled (SPS) ausgestattet, die eine präzise Kontrolle über Aspekte wie Temperatur, Druck und Durchfluss ermöglicht. Die Steuerung ist hochgradig anpassbar und programmierbar, so dass komplexe Ätzprozesse möglich sind. Das Gerät verwendet eine Elektronenstrahlquelle, die ein hohes Maß an Prozesssteuerung ermöglicht und für eine Vielzahl spezialisierter Ätzprozesse eingesetzt werden kann. MARCH AP1000 hat die Fähigkeit, eine breite Palette von Substraten von 1- bis 6-Zoll-dicken Substraten zu verarbeiten und ist in der Halbleiterindustrie für verschiedene Arten von Ätzprozessen, wie tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE), Ionenfräsen und Plasmaätzen sowie zur Herstellung elektrooptischer Produkte weit verbreitet. AP-1000 wurde entwickelt, um zuverlässige und wiederholbare Ätzprozesse bereitzustellen, was es zu einer beliebten Wahl im Halbleiterherstellungsprozess macht. MARCH AP-1000 kann mit einer Vielzahl von Prozessgasen ausgestattet werden, darunter Argon, Sauerstoff, Xenon und Stickstoff. Ein optionaler Massendurchflussregler kann auch zur Überwachung und Einstellung von Durchfluss und Druck verwendet werden. Zusätzlich stehen je nach Prozess eine Reihe von Reservoir-Optionen zur Verfügung. Mit seiner automatisierten Kassette-zu-Kassette-Substratberührenmaschine und seinem patentierten automatischen errötenden Werkzeug hat sich AP 1000 erwiesen, ein zuverlässiges Arbeitspferd in der Halbleiterindustrie zu sein.
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