Gebraucht MARCH CS 1701 #9268939 zu verkaufen

MARCH CS 1701 ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher zur Unterstützung angeschlossener Systeme, die eine hochpräzise Mikrofertigung erfordern. Seine Eigenschaften umfassen ein breites Prozessspektrum von 0,5 bis 10 Mikrometer für Ätz- und Ascheprozesse, während seine Präzision und Wiederholbarkeit maximale Materialqualität gewährleisten. Die Geräte können für Anwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, MEMS, Biochips, Leiterplatten und Anzeigetafeln verwendet werden. Der Etcher/Asher ist modular aufgebaut und ermöglicht eine verbesserte Produktivität und Flexibilität. Es ist in der Lage, zwei Prozessmodi zu unterstützen: Batch und Single-Wafer. Die Chargenbearbeitung wird verwendet, wenn große Volumina von Werkstücken bearbeitet werden müssen, während die Einscheibenbearbeitung einen großen Vorteil für kleine Chargen oder für hochpräzise Prozesse bietet. Der Ätzer/Ascher kann eine Vielzahl von Prozessgasen wie Chlor, Sauerstoff, Schwefelhexafluorid, Stickstoff, Helium und Wasserstoff unterstützen. Es unterstützt auch verschiedene Substratmaterialien wie Aluminium, Kupfer, Silizium und Galliumarsenid. Die präzise Steuerung der Prozessbedingungen, einschließlich Druck, Temperatur und Konzentration, ermöglicht die Optimierung der Prozessparameter für die besten Ergebnisse. Neben dem Ätz- und Ashing-Prozess bietet das System auch Echtzeit-Überwachungsfunktionen für eine verbesserte Prozessüberwachung und Datenerfassung. Es kann den Druck, die Temperatur und die Strömungsgeschwindigkeit jeder Kammer sowie den Elektrolytpegel und den Strom in den Ätztanks messen und kommunizieren. Diese können auch über eine Touchscreen-Schnittstelle angezeigt werden, wo der Benutzer auf zusätzliche Informationen wie die gesamte Bearbeitungszeit, die verstrichene Zeit und den augenblicklichen Druck, die Temperatur und die Strömungsgeschwindigkeit der jeweiligen Kammer zugreifen kann. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um einen sicheren Betrieb des Prozesses zu gewährleisten. Dazu gehören Drucksensoren und Verriegelungen in jeder Kammer sowie Temperatur- und Durchflusssensoren mit Alarmmeldung. Die Tür der Kammer kann auch aus der Ferne zugegriffen werden, um sicherzustellen, dass sich alle Mitarbeiter beim Öffnen der Kammertür aus dem Bereich befinden. Zusätzlich überwacht die Lecksuchtechnologie die Dichtungen der Kammer, um das Personal und das Produkt vor gefährlichen Leckagen zu schützen. Die Maschine kann in eine breite Palette von Automatisierungssystemen integriert werden, um die Gesamteffizienz in der Prozesssteuerung zu gewährleisten. Dies ermöglicht eine höhere Flexibilität und die Möglichkeit, den gesamten Prozess zu rationalisieren. Das Werkzeug verfügt auch über leistungsstarke Bewegungssteuerungsfunktionen für präzise Bewegungen und genaue Positionskontrolle. Es ist für eine einfache Einrichtung und Bedienung konzipiert, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Effizienz zu verbessern.