Gebraucht MARCH FLEXTRAK-2MB #9185980 zu verkaufen
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ID: 9185980
Weinlese: 2014
Plasma cleaners
Multiple inline plasma modules
Uniform plasma treatment
Dual lane boat handling
Ideal for pre-flip-chip underfill
(3) Axes symmetrical plasma chamber
(2) Boats/plasma cycles
Chamber maximum volume: 5.5 liters (338 in³)
Plasma processes:
Pre-flip chip underfill
Pre-die attach
Pre-wire bond
Pre-mold steps
Plasma contamination removal & cleaning:
Fluorine & other halogens
Metals & metal oxides
Organic compounds
Electrodes:
Variable electrode configurations:
Power-ground
Ground-power
Power-power
Working area: 305W x 305D mm (12W x 12D in.)
RF Power:
Standard wattage: 600 W
Frequency: 13.56 MHz
Gas control:
Flow volumes: 10, 25, 50, 100, 250 or 500 sccm
(4) MFCs
Control & interface:
Software control: EPC with PC-Based touch screen interface
Remote interface: SMEMA, SECS/GEM
Vacuum pump:
Standard dry pump: 16 cfm
Optional wet pump: 19.5 cfm
Optional purged dry pump: 16 cfm
N2 Purged pump flow: (2) slm
Process gas fitting size & type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube
Process gas purity: Lab or electronic grade
Process gas pressure: 0.69 bar (10 psig) min. to 1.03 bar (15 psig) max
Purge gas fitting size & type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube
Purge gas purity: Lab or electronic grade N2/CDA
Purge gas pressure: 2 bar (30 psig) min to 6.9 bar (100 psig) max
Pneumatic valves fitting size & type: 6.35 mm (0.25 in.) OD SWAGELOK Tube
Pneumatic gas purity:
CDA
Oil free
Dewpoint: ≤7°C (45°F)
Particulate size: <5μm
Pneumatic gas pressure: 3.45 bar (50 psig) min to 6.89 bar (100 psig) max
Exhaust: 25.4 mm (1 in.) OD Pipe flange
SEMI: E10, S2/S8 (EH&S/Ergonomics)
Gas generators: Nitrogen, hydrogen (requires additional non-optional hardware)
Chiller
Scrubber
Power supply: 220 VAC, 15A, 50/60 Hz, 1-Phase, 12 AWG, 3-Wire
CE Marked
2014 vintage.
MARCH FLEXTRAK-2MB ist ein Ätzer/Ascher für Reinraumproduktionsumgebungen in der Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, Photolackbilder auf Halbleiterscheiben oder anderen Substraten mit einer Auflösung von 5 Mikrometern wiederzugeben. Dieser hochmoderne Ätzer/Ascher bietet eine Reihe einzigartiger Vorteile gegenüber anderen verfügbaren Ätzlösungen. MARCH FLEXTRAK 2MB hat eine große Arbeitsfläche von 14 Zoll, so dass eine breite Palette von Photoresist-Bearbeitungsvorgängen. Es unterstützt sowohl zufällige als auch einheitliche Musterungen, einschließlich Linienformen, Rechtecke, Kreise und Ellipsen. Dadurch wird sichergestellt, dass Bilder mit hoher Genauigkeit und Präzision erzeugt werden können. FLEXTRAK-2MB verfügt über eine erweiterte programmierbare Logikschaltung, die eine einfache Änderung ihrer Ätzparameter ermöglicht. Dies bedeutet, dass der Ätzprozess auf die spezifischen Anforderungen einer bestimmten Anwendung abgestimmt werden kann. Durch die Einstellung der Ätzzeit, Auflösung, Leistung und anderer Parameter ist es möglich, überlegene Wiederholbarkeit, Gleichmäßigkeit und Bildqualität zu erreichen. FLEXTRAK 2MB bietet eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Um maximale Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten, ist das Gerät mit Nothaltefähigkeit, einer automatisierten Pinzette für die Handhabung von Wafern und einem hinterleuchteten Sicherheitsglas für die Überwachung ausgestattet. Der Ätzer/Ascher verfügt auch über ein einzigartiges Chill-Down-System, um die Oberflächen von empfindlichen Wafern vor Überhitzung zu schützen. MARCH FLEXTRAK-2MB verfügt über eine breite Palette von Programmiermöglichkeiten für Anwendungen, die eine einfache Automatisierung des Photoresist-Ätzprozesses ermöglichen. Anwender können eine Vielzahl von proprietären Softwareprogrammen nutzen, um einen verbesserten Durchsatz und eine verbesserte Prozessqualität zu erzielen und gleichzeitig die fortschrittlichen Funktionen von MARCH FLEXTRAK 2MB zu nutzen. Schließlich wurde FLEXTRAK-2MB mit einem geringen Stromverbrauch entwickelt, um die Umweltbelastung zu reduzieren. Dies macht es perfekt für Forschung und Produktion Umgebungen, in denen Energieeffizienz eine Priorität ist. Abschließend ist FLEXTRAK 2MB eine ideale Wahl für jeden Ätzvorgang, der eine hohe Auflösung, Präzision und Wiederholbarkeit erfordert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und dem geringen Stromverbrauch ist es eine ideale Wahl für Reinraumproduktion, Forschung oder andere Industrieanwendungen.
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