Gebraucht MARCH FlexTRAK-SH #293629358 zu verkaufen
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MARCH FlexTRAK-SH ist eine voll ausgestattete, kostengünstige Ätz-/Aschemaschine von MARCH, Inc. Das System ist ideal für Rapid Prototyping, Rapid Device Fabrication und F&E Projekte. Es verfügt über 360-Grad, mehrere Wafer Laden und Entladen Fähigkeit, mit einem EST (Easy Spin-Transfer) Vakuum Spannfutter garantiert präzise und sichere Wafer Positionierung. Das Gerät ist für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ausgelegt, mit allen Komponenten, die in einer Common Air-Flow (CAF) -Kammer eingeschlossen sind, sowie einer innovativen Schutzmaschine, die eine chemische Beschädigung der empfindlichen Gerätestrukturen verhindert. Dieses Werkzeug liefert auch ein effizientes Wärmeflußprofil, da alle Komponenten zur Optimierung des Reaktionsweges der Chemikalien ausgelegt sind. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Anwender, alle Asset-Parameter zu steuern, während die präzise Bewegungssteuerung und die komplette ESP (Pattern) -Bibliothek vorprogrammierter Rezepte eine schnelle, präzise und wiederholbare Waferbearbeitung ermöglichen. Das Modell FlexTRAK-SH ist auch umweltfreundlich und beseitigt alle Umweltbelange im Zusammenhang mit dem Betrieb einer chemischen Verarbeitungsanlage. Dies ist auf das komplett abgedichtete, rauchfreie Evakuierungssystem und den sicheren und sauberen Betrieb zurückzuführen. Für maximale Prozesseffizienz verfügt die MARCH FlexTRAK-SH Einheit schließlich über einen vollständig integrierten zentralen Controller, der eine einheitliche Automatisierungsplattform zur Steuerung aller Maschinenparameter bietet, die eine einfache Integration in bestehende werkzeugspezifische Rezepturbibliotheken sowie die Unterstützung der Fernbedienung und Datenanalyse ermöglicht.
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