Gebraucht MARCH FlexTRAK-SH #9232254 zu verkaufen

MARCH FlexTRAK-SH ist ein Ätzer/Ascher für Mikrofabrikationslabore mit einem breiten Anwendungsspektrum für seine Anwender. Das Gerät verfügt über eine hohe Genauigkeit, mit automatisierter programmierbarer Rezeptsteuerung sowie Standard-Rotation und Wafer-Trajektorien. Es ist auch vollständig in MARCH 'Trak-Tool' integriert. Dies ermöglicht die Entwicklung von Wafer-Handling und Ätzrezepten ohne Programmierung. Das System ist zudem wartungsarm und einfach zu bedienen. FlexTRAK-SH verfügt über das „Helios“ -Kammerdesign, das zwei Quellen für HF-induktiv gekoppeltes Plasma umfasst. Dies ermöglicht das Ätzen sowohl von PECVD- als auch von PE-CVD-Prozessen wie LPCVD, LPCVD OIS, OLED und ECR. Dies gibt Anwendern auch die Möglichkeit, sehr hohe Plasmadichte und Gleichmäßigkeit zu erreichen, auch bei kleinen Wafergrößen. Die Helios-Kammer verfügt auch über eine Z-Flight-Scan-Line-Option zum gleichmäßigen Ätzen großer Wafer mit großen Seitenverhältnissen. MARCH FlexTRAK-SH bietet auch variable Ätzraten und hat die Fähigkeit, Materialien wie Oxid, Nitrid, Polysilizium, Metalle und Metalllegierungen zu ätzen. Es ist auch in der Lage, Wafer bis zu 12 Zoll Durchmesser zu ätzen. Das Gerät ist mit Sicherheitssystemen aus dem Umschlag ausgestattet, um die Sicherheit des Benutzers zu gewährleisten und chemische Leckagen zu verhindern. Der Ätzer/Ascher hat auch eine Reihe von Prozesssensoren, die Druck, Temperatur und O2-Pegel erfassen, die für die genaue Steuerung des Ätzprozesses sorgen. FlexTRAK-SH ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug, das einfach zu bedienen ist und für eine Vielzahl von Laboranwendungen geeignet ist. Es bietet eine hohe Präzision und Genauigkeit mit anpassbaren Rezepten und Software-Tools, um zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Die Leistung der Maschine wird durch das fortschrittliche „Helios“ -Kammerdesign weiter verbessert, das eine gleichmäßige und gleichmäßige Ätzratenproduktion gewährleistet. Der Ätzer/Ascher verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmaßnahmen, um die Sicherheit seiner Benutzer zu gewährleisten.