Gebraucht MARCH FlexTRAK #9210328 zu verkaufen

MARCH FlexTRAK ist eine Ätz-/Aschemaschine, die speziell für die Maximierung der Effizienz des Waferätz- und Ascheprozesses entwickelt wurde. Das System ist eine vollautomatische Lösung, die eine geringe Ätzzeit, eine schnelle Prozessplanung und eine hervorragende Rezepturkonsistenz bietet. Es ist ideal für Produktions- und Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Das Gerät basiert auf einer fortschrittlichen druckgesteuerten variablen Leistungsarchitektur, die überlegene Spannfutterstabilität und Rezepturwiederholbarkeit bietet. Dies sorgt für konsistente Ätz- und Ascheprofile und reduziert die Ergebniszeit. Die automatisierte Prozessplanungsfunktion der Maschine ermöglicht auch die schnelle Erstellung einer geeigneten Ätzkonfiguration für jede spezifische Anwendung. FlexTRAK verfügt über ein kompaktes Design, das einfach zu installieren ist und minimales Training für den Betrieb erfordert. Das Werkzeug besteht aus zwei Kammern - einer Ätzkammer und einer Aschekammer -, die mit zwei automatisierten Robotern verbunden sind. Diese Roboter sind für die Übertragung der Wafer zwischen den Kammern und für das Be- und Entladen der Wafer in die Ätzkammer verantwortlich. MARCH FlexTRAK ist mit einer fortschrittlichen Prozesssteuerung ausgestattet. Dieser Controller verfügt über einen intuitiven 8,4-Zoll-Farb-Touchscreen für einfache Bedienung. Die Box beherbergt auch eine optische Bildgebung mit hohem Durchsatz, die den Ätz- und Ascheprozess genau überwacht. FlexTRAK verfügt über ein einzigartiges Lademodell, das bis zu 25 Wafer in seiner Ätzkammer laden kann. Das Ladegerät des Geräts trägt und verriegelt die interessierenden Wafer automatisch an Ort und Stelle für präzise und wiederholbare Ergebnisse. MARCH FlexTRAK bietet auch eine breite Palette von Speicher und Rezepteinstellmöglichkeiten. Dies ermöglicht es Benutzern, alle Ätz- und Aschekonfigurationen für einfachen Zugriff und Wiederholbarkeit zu speichern. Diese Einstellungen werden in einer leicht zugänglichen Speicherbibliothek gespeichert, wodurch die genauen Ätz- und Ashing-Einstellungen für die gewünschten Anwendungen leicht generiert werden können. Abschließend ist FlexTRAK ein fortschrittliches Ätz- und Aschesystem, das eine hervorragende Spannfutterstabilität und eine hervorragende Rezepturkonsistenz bietet. Es ist einfach zu installieren, erfordert minimales Training und ist in der Lage, bis zu 25 Wafer in einem einzigen Lauf zu verarbeiten. Das Gerät bietet außerdem eine Vielzahl bequemer Funktionen, darunter einen intuitiven Touchscreen, eine schnelle Bearbeitungsplanung und eine automatisierte Rezeptarchivierung.