Gebraucht MARCH INSTRUMENTS PX 1000 #9156928 zu verkaufen

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MARCH INSTRUMENTS PX 1000
Verkauft
ID: 9156928
Plasma etcher/cleaner.
Das MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000 ist ein Ätz-/Aschersystem, das die Herstellung von Substraten mit hochpräzisen Ätz- und Unterschnitteigenschaften ermöglicht. PX 1000 eignet sich hervorragend für die Halbleiter-, Display- und MEMS-Anwendungen, da es in der Lage ist, die Ätzprozesse präzise zu steuern und kleinere Substrate in größeren Größen zu ätzen. MARCH INSTRUMENTS PX 1000 nutzt LAM oder Laserablationsbearbeitung. PX 1000 besteht aus einem Laserstrahl und einer kontrollierten, aber einstellbaren Substratstufe. Dadurch kann der Ätzvorgang bei einer beanspruchten hohen Durchsatzrate von bis zu 10.000 Wafern pro Stunde exakt abgeschlossen werden. MARCH INSTRUMENTS PX 1000 kommt in zwei Modellen: die S-Substratversion und die T-Substratversion. Die S-Substratversion wurde entwickelt, um Substrate zwischen 350 und 8 mm zu ätzen, während die T-Substrate für kleinere Substrate zwischen 350 und 4 mm ausgelegt sind. PX 1000 ist mit Waferkantenpositionierungstechnologie ausgestattet, die eine genaue Positionierung von Wafern relativ zu ihrer Mitte ermöglicht. Dies gibt eine präzise Ätzung und ermöglicht das Schneiden von Wafern bei optimaler Winkelausrichtung. MARCH INSTRUMENTS PX 1000 hat auch eine aktive Substrat Nivellierfähigkeit, die Bogen und Neigung genau auf 5 Mikron in einem begrenzten Bereich kompensiert. PX 1000 ist in der Lage, eine hohe Photolithographie-Genauigkeit mit einer Winkelätztoleranz von weniger als einem Grad zu erzielen. Auch die thermische Steuerung der Waferstufe ist präzise, mit einem Temperaturbereich von 15 bis 25 Celsius. MARCH INSTRUMENTS PX 1000 kann sowohl Quarz- als auch Glassubstrate ätzen und ist 100% reinraumkompatibel. Die Einhaltung von Industriestandards wie EMC und CE-Standards ist erfüllt, und die Maschine entspricht auch den Umweltanforderungen wie RoHS. PX 1000 verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und enthält Diagnosen, mit denen Bediener den Zustand der Maschine überwachen und die erforderliche Wartung bestimmen können. Das System wird mit integrierter Messtechnik-Software zur Aufrechterhaltung der Prozesssteuerung sowie Software zur Wafer-Überwachung geliefert. Die MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000 ist ein Ätz-/Aschersystem mit Präzision und Leistung im Auge. Es bietet eine hohe Photolithographie-Genauigkeit, eine präzise thermische Steuerung und Waferkantenpositionierungsfunktionen. Darüber hinaus ist es einfach zu bedienen und erfüllt Industriestandards, so dass es für eine Vielzahl von Halbleiter-, Anzeige- und MEMS-Anwendungen geeignet ist.
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