Gebraucht MARCH Plasmod #9225186 zu verkaufen

Hersteller
MARCH
Modell
Plasmod
ID: 9225186
Etcher With manual gas control module GCM-100 (3) Gas controls Gas control monitor Includes teflon gas lines Quartz chambers Generator: 125 W Solid state RF source (Internal) Manual tuning Inner / Outer chamber have been replaced Gas distribution tube not included Chamber pressure sensor & pressure readout Manual interface with (3) Flow meters for flow control & (3) gases Pressure gauge.
MARCH Plasmod ist ein reaktives Ionenätzgerät (RIE) zur Durchführung von Ätz- und allgemeinen Ascheprozessen. Es ist auf Hochdurchsatzätzen zugeschnitten, da es in der Lage ist, mehrere Proben gleichzeitig zu verarbeiten. Das System ist über seine Touchscreen-Benutzeroberfläche steuerbar, die präzise Ätz- und Verarbeitungsfunktionen ermöglicht. Die Einheit verwertet eine Hochfrequenz-13,56-MHz-Stromversorgung, um Plasmaenergie zu erzeugen, Hochleistungs-RIE in einer Prozession gehende Fähigkeiten bietend. Diese Energie wird auch verwendet, um die Oberfläche von Proben zu zielen und zu ätzen, was saubere, hochauflösende Ergebnisse liefert. Die Maschine verwendet ferner ein Gasförderwerkzeug zur präzisen Bearbeitung. Jeder Prozess kann mit einem eingebauten Controller feinjustiert werden, so dass verschiedene Ätzrezepte für den zukünftigen Einsatz im Controller entwickelt und gespeichert werden können. Die Anlage verfügt außerdem über ein internes Vakuumpumpenmodell, das einen schnellen und effizienten Gaswechsel beim Ätzen ermöglicht. Das Gerät arbeitet in einer mehrfachen, temperaturgesteuerten Vakuumkammer, was einen höheren Plasmaschädigungsschutz im Vergleich zu einzelnen Vakuumkammersystemen ermöglicht. Dadurch wird weiterhin sichergestellt, dass die Ergebnisse der Ätzung von hoher Konsistenz und Qualität sind. Die Reduzierung der Komplexität von Protokollen ist ein wichtiges Merkmal des Systems, so dass erfahrene Benutzer Protokolle in wenigen Minuten einrichten können. Darüber hinaus ist die Benutzeroberfläche darauf ausgerichtet, die Verriegelung zu reduzieren und jeden Parameter bei der Erstellung eines Protokolls einzustellen. Das Gerät ist kompatibel mit einer Reihe von Probenmaterialien, einschließlich Silizium, organische, anorganische und vieles mehr. Es ist in der Lage, mehrere Arten von Materialien in einem einzigen Lauf zu ätzen, so dass mehr Flexibilität für Prototyping oder Muster Variation Tests. Die Maschine verfügt über Konstruktionsmerkmale, um ein optimales Ätzparadigma zu gewährleisten. Dazu gehören verminderte reaktive Ionen- und Plasmakontamination, automatische Druckregelung und wiederholbare Prozessergebnisse. Das Tool wurde mit Blick auf Sicherheit, Leistung und Flexibilität konzipiert, was es zum idealen Partner für jeden Ätzprozess macht.
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