Gebraucht MARCH Plasmod #9234905 zu verkaufen
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MARCH Plasmod ist ein High-Tech, vollautomatische Ätzer und Ascher Ausrüstung für mikroelektronische Geräteherstellung und Materialabscheidung entwickelt. Es verwendet hochfrequente Radiowellen, um mikroelektronische Strukturen selektiv auf Halbleiterscheiben oder anderen Substraten abzuscheiden oder zu ätzen. Die einzigartige physikalische Aufdampftechnik des Systems bietet einen hochpräzisen, tiefen Temperaturprozess, der auf eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen zugeschnitten werden kann. Das Gerät verfügt über eine Plasmaquelle mit hohen Abscheide- und Ätzraten und eine integrierte Flammenbildmaschine, die eine umfassende Vor-Ort-Fehlerüberwachung bietet. Plasmod ermöglicht genaue, wiederholbare Ätz- und Abscheideprozesse über einen weiten Temperaturbereich von 300 bis 1000 ° C. Die hohe Geschwindigkeit, unbemannte Prozess pro Zyklus läuft bis zum Abschluss, und bietet eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Kontrolle. Mit einer großen Auswahl an Materialien und Gasen kann das Werkzeug auf spezifische Material-, Prozess- und Umweltanforderungen zugeschnitten werden. Es ist auch in der Lage, Strukturierung und Fehleranalyse zu komplizieren. Das automatisierte Asset umfasst ein integriertes Softwarepaket mit anpassbarer Programmierung, das an die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden kann. Es ist mit einem Echtzeit-Prozesssteuerungsmodell ausgestattet, das eine gleichbleibende Produktqualität gewährleistet und die Möglichkeit bietet, Parameter beim Abscheiden oder Ätzen einzustellen und zu überwachen. Das Design der Ausrüstung bietet mehrere Vorteile für die Materialabscheidung, einschließlich hohe Leitfähigkeit, niedrige Dielektrizitätskonstante, niedriger Widerstand und Niedertemperaturbetrieb. Die fortschrittliche computergestützte Designsoftware von MARCH Plasmod ermöglicht die Anpassung an eine Vielzahl von Materialien und Anwendungsumgebungen. Plasmod ist ideal für die Herstellung von mikroelektronischen Geräten und andere Anwendungen, die eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit erfordern. Es ist sehr zuverlässig, einfach zu bedienen und ist in der Lage, zuverlässige, qualitativ hochwertige Muster zu produzieren. Mit seinem automatisierten Betrieb und der schnellen, genauen Abscheidung erweist es sich als ein unschätzbares Produktionswerkzeug. Das flexible System kann auf eine breite Palette von Substraten und Prozessen zugeschnitten werden und ist der Industriestandard für zuverlässige Ätz- und Abscheidungsleistung.
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