Gebraucht MARCH PM-600 #9118779 zu verkaufen

MARCH PM-600
Hersteller
MARCH
Modell
PM-600
ID: 9118779
Wafergröße: 6"
Plasma cleaner, 6" Quartz barrel asher.
MARCH PM-600 ist ein autarker Plasmaätzer/Ascher, ideal für industrielle Produktion und wissenschaftliche/Forschungszwecke. Als hocheffektiver Plasmaätz-/Aschevorgang ist PM-600 für präzises, schnelles und sicheres Ätzen/Aschen sowohl von rostfreien als auch nichtmetallischen Substraten ausgelegt. Das Gerät ist mit einer dreistufigen Vakuumkammer ausgestattet und wird von einer drehzahlarmen, direkt angetriebenen Rotationspumpe für eine überlegene Leistung angetrieben. Die Kammer ist mit einem integrierten Ozondetektionssystem versehen, das eine einfache und genaue Messung der restlichen Ozonverschmutzung innerhalb der Vakuumeinheit während des Ätz-/Aschevorgangs ermöglicht. MARCH PM-600 verwendet eine hochauflösende, programmierbare und einstellbare Abtaststufe, um das Substrat unter den HF-Spulen genau zu positionieren. Dies ermöglicht ein schnelles und genaues Ätzen und Aschen von Substraten mit Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Die dem Substrat zugeführte HF-Energie kann über eine variable Stromversorgung exakt gesteuert und für unterschiedliche Ätz-/Ascheprozesse eingestellt werden. PM-600 verfügt über eine Gasdurchflussregelmaschine, die eine präzise Durchfluss- und Druckeinstellung der Ätz-/Aschgase ermöglicht und eine umfassende Steuerung von Ätz- und Aschegrößen ermöglicht. Zusätzlich enthält das Werkzeug einen Kühlgaskreislauf, um das Substrat für eine optimale Prozesswiederholbarkeit zu kühlen. Das Asset verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche und konfigurierbare Prozessparameter für maximale Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit. MARCH PM-600 ist sowohl für industrielle als auch für Forschungsanwendungen konzipiert und kann in Halbleiter-, Medizin-, Elektronik- und anderen verwandten Bereichen verwendet werden. Mit seiner zuverlässigen Leistung und robusten Konstruktion ist PM-600 die perfekte Wahl für jede Ätz-/Ascheanwendung.
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