Gebraucht MARCH PM-600 #9139715 zu verkaufen

MARCH PM-600 ist eine hochpräzise automatisierte Ätz-/Aschermaschine, die für das ultraeffiziente Ätzen und Belichten unterschiedlichster Substrate entwickelt wurde. Das System verwendet fortschrittliche parallele Technologie, die eine hohe Durchsatzrate ermöglicht. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu ätzen, darunter: Silizium, GaAs, AlGaAs und andere III-V-Materialien. Die Maschine verfügt über einen großen 8-Zoll-Ätzbereich, mit dem mehrere Wafer gleichzeitig bearbeitet werden können. Das Tool enthält auch eine Remote-Video-Optik zur genauen Betrachtung und Überprüfung des Prozesses. Die video-Optik ist anwendereinstellbar, um sicherzustellen, dass die Ätzparameter innerhalb vorgegebener Toleranzen bleiben. Das Modell ist mit zwei freistehenden Sputterpistolen ausgestattet, die einen einfachen Wechsel zwischen Sputter- und chemischen Ätzprozessen ermöglichen. Dadurch kann der Anwender beim Drehen eines Reglers schnell und effizient zwischen Ätzprozessen wechseln. PM-600 ist auch mit automatisierten Schutzfunktionen ausgestattet. Es verfügt über eine einzigartige Luftzirkulationsausrüstung, die die Sicherheit der Benutzer und die Integrität des Ätzprozesses gewährleistet. Das System ist auch mit einem automatischen Abschaltschalter ausgestattet, um sicherzustellen, dass das Gerät während der Bearbeitung nicht in einem belichteten Zustand bleibt. Die Maschine verfügt über einen Hochleistungs-HF-Generator mit variabler Frequenz. Dadurch kann das Werkzeug eine Vielzahl von HF-Frequenzen handhaben und sicherstellen, dass alle erforderlichen Ätzparameter exakt gesteuert werden. Das Asset verfügt auch über eine ausgeklügelte automatisierte Software, um einen präzisen Prozess zu gewährleisten und die Wahrscheinlichkeit von Fehlern zu minimieren. Zusammenfassend ist MARCH PM-600 ein sehr vielseitiges und präzises Ätz-/Aschermodell, das sich ideal für eine größere Vielfalt an Substraten eignet. Das Gerät ist in der Lage, einen hohen Durchsatz zu liefern, mit präzisen Steuerungs- und Schutzfunktionen für einen sicheren und genauen Ätzprozess.