Gebraucht MARCH PM-600 #9160093 zu verkaufen

MARCH PM-600 etcher/asher ist ein leistungsstarker, automatisierter Ätzer und Ascher für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es verwendet Plasmaätzen und reaktives Ionenätzen (RIE), um präzise Funktionen mit hohem Seitenverhältnis auf Wafern und anderen Substraten zu erstellen. PM-600 ist für die großvolumige Fertigung von Präzisionsgeräten wie integrierten Schaltungen und anderen nanoskaligen Komponenten ausgelegt. MARCH PM-600 ist ein Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher, der den Zeitaufwand für die Ätzproduktion minimiert. Es verfügt über eine automatisierte Prozesskammer, die abgedichtet und in einer ultrasauberen, kontrollierten Umgebung betrieben wird. Die Prozesskammer weist einen Niederdruck-Tieftemperaturätzbetrieb auf, der eine enge Steuerung der Ätzrate ermöglicht. Die Prozesskammer verfügt außerdem über eine Dual-Source-Ausrüstung, die eine unabhängige Steuerung sowohl des Ätzmittels als auch des Ätzziels ermöglicht. Dieses Dual-Source-System ermöglicht eine feine Kontrolle der Ätzrate und Inversion-Edge-Ätzprofile. PM-600 ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die den Ätzprozess erleichtern. Es verfügt über eine hochauflösende Inline-Bildverarbeitungseinheit, die eine schnelle und genaue Ausrichtung ermöglicht. Es verfügt außerdem über ein universelles Gaspanel, das eine präzise Steuerung der Ätzchemie ermöglicht. MARCH PM-600 ist zudem mit einem Echtzeit-Partikelmonitor und einer Etch-by-Step, zweidimensionalen Profilierungsfähigkeit ausgestattet, die eine dynamische Ätzjustierung nach benutzerdefinierten Sollwerten ermöglicht. PM-600 bietet die konformen Ätz- und Hochdurchsatzfunktionen, die für eine effiziente Produktion von Präzisionsgeräten erforderlich sind. Seine Inline-Bildverarbeitungsmaschine und seine kontrollierte Umgebung spielen eine wichtige Rolle bei der Schaffung von Features mit hohem Seitenverhältnis auf Wafern und anderen Substraten. MARCH PM-600 ermöglicht eine Vielzahl von Ätzprozessrezepten, darunter Ionenätzen, chemisches Ätzen und über die digitale Steuerungstechnologie programmierte Ätzprofile. Dieses Gerät verfügt außerdem über ein universelles Gaspanel, das eine präzise Steuerung der Ätzchemie ermöglicht. PM-600 ist für den Einsatz in der Halbleiterindustrie konzipiert und bietet effiziente, vielseitige Ätzfähigkeiten, um den Verarbeitungsanforderungen der Nanoindustrie gerecht zu werden.