Gebraucht MARCH PX-1000 #142222 zu verkaufen

MARCH PX-1000 Etcher/Asher ist eine moderne, fortschrittliche Trockenätz- und Aschemaschine, die Plasmakraft zum präzisen Ätzen und Aschen verschiedener Materialien auf eine Vielzahl von Ebenen und Feinheiten nutzt. Das System besteht aus einer Basiseinheit, einer Steuereinheit, einem automatischen Elektrodenregler und einer Quarzätz-/Aschekammer. MARCH PX 1000 kann Wafer und Substrate bis 6 Zoll (150 mm) in der Größe verarbeiten. Die Verträglichkeit des Substratmaterials reicht von Metallen bis zu Keramik, Quarz und Glas. Die fortschrittliche Steuereinheit von PX-1000 ist in der Lage, jedes Mal wiederholbare Ergebnisse zu erhalten, wenn sie verschiedene Rezepte anbietet, sowie anpassbare Auswahlen, um typische große Chargenätzprozesse sowie einmalige Aktivitäten im Forschungs- und Entwicklungsstil abzudecken. Die automatische Elektrodenwartung ist im Lieferumfang enthalten, wobei die Maschine Elektrodenerosion und Verschleiß im Laufe der Zeit automatisch kompensiert. Das DR-1000 ist in der Lage, die Verarbeitungszeiten so schnell wie 10 Sekunden pro Wafer bei 1016 Torr (134 mBar) und 91 Watt zu erreichen, mit zusätzlichen Schritten, um einen optimalen Endpunkt zu erreichen. Die Gasströme sind hoch einstellbar und bestehen aus bis zu vier Prozessreaktorgasen und bis zu drei Schläuchen für Reagenz-/Ätzadditive und Reinigungsgas. Die Quarzkammer ist mit mehreren ultra-niedrigen Leckagen, RF-Ringen sowie einem Strahlenschild und einem einstellbaren PTFE-Duschkopf ausgestattet. Die Kammer ist hochverstellbar und bietet zahlreiche sichere Montagemöglichkeiten für Bauteile, die eine hohe Flexibilität bei der Bearbeitung bieten. PX 1000 bietet höchste Präzision für ein Plasmaätzwerkzeug und eignet sich somit perfekt für Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten sowie Produktionsprozesse. MARCH PX-1000 ist ideal für eine Vielzahl von Materialien, darunter Al, Cu, Cu-Legierungen, Fe und SiC, um nur einige zu nennen. Es bietet auch die Flexibilität, die für Ätz-/Ascheanwendungen wie integrierte Schaltungen, zusammengesetzte Halbleiterbauelemente und MEMS-Bauelemente benötigt wird. MARCH PX 1000 existiert als schlüsselfertige Ätzlösung mit hoher Wiederholbarkeit und ausgezeichneter langfristiger Zuverlässigkeit.