Gebraucht MARCH PX-1000 #293647792 zu verkaufen

MARCH PX-1000 ist eine Ätz-/Aschemaschine, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches Plasmaätz- und Abisolierwerkzeug, das speziell entwickelt wurde, um Metalle, Polymere, Oxide und andere Materialien schnell zu ätzen und zu entfernen. MARCH PX 1000 verwendet mehrere Technologien und optimierte Prozessparameter, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen und gleichzeitig einen hohen Durchsatz zu erhalten. PX-1000 integriert sowohl Plasmaätzverfahren hoher Dichte als auch physikalische Strippvorgänge in sein Ätzsystem, so dass Materialien mit einer höheren Selektivität geätzt werden können als bei anderen Ätzsystemen. Es bietet auch eine genaue Kontrolle über verschiedene Ätzparameter für eine optimale Prozesskontrolle und Materialabfuhrraten. Mit seiner integrierten Computersteuerung kann PX 1000 Prozessparameter wie Gasdurchsatz, Druck, Temperatur und Druckverhältnis genau überwachen, messen und anpassen. MARCH PX-1000 bietet auch eine Vielzahl von Funktionen, einschließlich einer leistungsstarken automatisierten Rezeptsteuerung Maschine, fortschrittliche Echtzeit-Endpunkt-Erkennung-Tool, und Dual-Stage-Plasma-Reinigung Fähigkeit, die hilft, die Lebensdauer der Prozesskammer zu verlängern. Mit seiner Mehrfachkammer und Spüle bietet MARCH PX 1000 optimale Flexibilität und Prozessstabilität. Darüber hinaus unterhält die moderne Vakuumanlage eine hochwertige Atmosphäre und ermöglicht eine Reihe unterschiedlicher Vakuumstufen. PX-1000 eignet sich ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, von Wafer-Level-Ätzen von dünnen Metall- und dielektrischen Schichten, Dünnschicht-Metall-Lift-off und Metalloberflächenformung bis zum High-Aspect-Ratio-Ätzen von dickem Metall, Metallabtragung und Passivierung von Transistoren. Mit seinen fortschrittlichen Ätz- und Strippfunktionen ist PX 1000 für viele moderne Halbleiterherstellungsprozesse von heute hochwirksam und zuverlässig.