Gebraucht MARCH PX-1000 #293701620 zu verkaufen

MARCH PX-1000 ist eine hochzuverlässige Ätz-/Aschemaschine für die Verarbeitung großer Substrate. Das System eignet sich gut für die Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen, Halbleitern und MEMS-Geräten. Der Ätzer/Ascher verwendet eine vertikale Plattenkammer für Ätz- und Ascheprozess. Dies ermöglicht ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen von Substraten bis zu einer Größe von 514mm bei hoher Wiederholbarkeit. Das Gerät ist mit bis zu vier separaten PM-Modulen ausgestattet, um die notwendige Flexibilität für mehrere Ätz- und Ascherezepte zu bieten. MARCH PX 1000 bietet extrem niedrige Sublimationsrate und hohe Ätzselektivität für Metalle, Polysilizium und Ablagerungen auf Silizium. Die Plasmaquelle zum Ätzen und Aschen umfasst einen Mehrfrequenz-HF-Generator mit Leistung bis 4kW. Eine Turbomolekularpumpe wird verwendet, um das Abgas zu eliminieren und Partikel zu erzeugen, die für die Prozessgleichmäßigkeit und gute Ätzprofile erforderlich sind. Die Kammer hat eine Auswahl an Substratstufenoptionen wie rotatorisches oder lineares Probenhandling. Zur Aufrechterhaltung der Substrattemperatur bis maximal 250 ° C ist eine spezielle Substratheizmaschine vorgesehen. Substratheizung ist in der zeitlichen Temperaturregelung oder als beheiztes Zonenprofil verfügbar. Die Temperaturgleichförmigkeit innerhalb der Kammer beträgt ± 3 ° C oder besser. PX-1000 können auch mit zusätzlichen Funktionen wie Auto-Van Start und integrierte Etch-Load-Lock-Systeme angepasst werden. PX 1000 wird aus Teilen und Materialien mit hoher thermomechanischer Stabilität konstruiert und ist für einfache Installation und Wartung ausgelegt. Optionen wie O2 und N2 Gaseinleitung und Sauerstoffbeständigkeit sind ebenfalls verfügbar. Dieses Ätz-/Ascherwerkzeug ist ein zuverlässiges Arbeitstier für Produktionsanwendungen, die einheitliche und wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse erfordern.