Gebraucht MARCH PX-1000 #293711097 zu verkaufen

Hersteller
MARCH
Modell
PX-1000
ID: 293711097
Plasma cleaner.
MARCH PX-1000 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die für den Umgang mit einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde, darunter verschiedene Halbleiter, Keramiken und andere Substrate. Es bietet Anwendern einen präzisen und zuverlässigen Ätzprozess, der in der Lage ist, präzise Muster, Gruben und Gräben sowie präzise Ascheprozesse für Materialien wie Graphit, Silizium und Kupfer zu erstellen. MARCH PX 1000 verfügt über ein fortschrittliches Prozessgasfördersystem bestehend aus Mikronfilter, digitalen Massenstromreglern und einem Verteilerkrümmer. Dadurch wird eine gleichmäßige und präzise Strömung des Prozessgases gewährleistet, was zu präzisen Ätzergebnissen führt. Diese Ätzeinheit verfügt auch über eine erweiterte Prozesssteuerung, die eine präzise Steuerung aller Ätzparameter einschließlich Kammerdruck, HF-Leistung, Prozessgasverhältnis und anderer wichtiger Ätzparameter ermöglicht. Die Maschine ist mit einem automatisierten Temperaturregelmodul ausgestattet, mit dem Anwender eine präzise Temperaturregelung beim Ätzen und Aschen durchführen können. Dadurch wird eine präzise Kontrolle der Ätztiefe und Aschegüte gewährleistet, wobei Wärmeschäden an den Materialoberflächen vermieden werden. Darüber hinaus können die automatisierten Rollläden eingesetzt werden, um die Strömung beliebiger Partikel in der Luft zu reduzieren und die Qualität der geätzten Oberfläche zu verbessern. PX-1000 verfügt auch über ein hochpräzises, vollständig geschlossenes CO2-Laserwerkzeug, das Hochgeschwindigkeits-, Hochpräzisionsätz- und -veraschungsprozesse ermöglicht. Es kann mit einer Präzision von bis zu 100 nm geätzt werden und kann auch für Trockenätz- und Trockenascheprozesse verwendet werden. Darüber hinaus verfügt es über zweifrequente HF-Spulen, die einseitige und doppelseitige Ätzprozesse ermöglichen. Das fortschrittliche Laser-Asset ermöglicht es Benutzern, hochpräzise und hochdurchsatzreiche Ergebnisse zu erzielen. Das Modell wird über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche gesteuert, mit der Anwender schnell Ätz- und Ascheprozesse einrichten und steuern können. Darüber hinaus ist es mit einer automatisierten Endpunktdetektionseinrichtung ausgestattet, die den Anwendern am Ende des Ätz- oder Aschevorgangs einen detaillierten Bericht liefert. Dieser Bericht kann zur weiteren Überprüfung und Analyse der Qualität des Ätz- oder Ascheprozesses verwendet werden. Zur weiteren Verbesserung der Sicherheit ist das Ätz- und Aschesystem PX 1000 mit einem Not-Aus-Knopf ausgestattet, der nach Aktivierung jeden Ätz- oder Aschevorgang automatisch stoppt. Weiterhin ist der gesamte Ätzer mit einer erweiterten Alarmeinheit versehen, die den Benutzer benachrichtigt, wenn von den eingestellten Werten abweichende Prozessparameter vorliegen. Diese Eigenschaften sorgen für eine verbesserte Sicherheit und einen zuverlässigen Betrieb der Maschine.
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