Gebraucht MARCH PX-1000 #293765898 zu verkaufen

MARCH PX-1000
Hersteller
MARCH
Modell
PX-1000
ID: 293765898
Wafergröße: 12"
Plasma asher, 12".
MARCH PX-1000 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der für die Präzisionsbearbeitung einer Vielzahl von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Es ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die Hochtemperatur- und Plasmaprozessen standhalten kann. MARCH PX 1000 verfügt über eine patentierte doppelseitige Ätz- und Aschekammer mit einem Fassungsvermögen von bis zu 8,9 Litern. Dieses Ätz- und Aschesystem bietet eine extrem genaue Ätz- und Ascheauflösung von 1,5 μ m und ist somit ideal für die Verarbeitung von ultradünnen Schichten geeignet. PX-1000 verfügt über eine breite Palette einstellbarer Parameter, einschließlich Temperatur, Druck, Druckregelung und HF-Leistung, um das Ätzprofil und die Wiederholbarkeit von Ätz- und Ascheergebnissen zu optimieren. Darüber hinaus verfügt es über eine hochpräzise Temperaturregelung mit einer Auflösung von 0,1 ° C, die eine genaue Temperaturregelung für jede Anwendung ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über eine fortschrittliche Prozesssteuerungsschnittstelle, um einen konsistenten und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet PX 1000 dank seiner fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen zuverlässige Prozesssicherheit. Es ist mit Druck- und Temperatursensoren ausgestattet, um einen sicheren Prozess zu gewährleisten, und kann mit einem Inertgasspülwerkzeug ausgestattet werden, um die hergestellten Materialien vor Sauerstoff und anderen Umweltverunreinigungen zu schützen. Darüber hinaus verfügt die Anlage auch über einen Hochdruckentladungsmechanismus, um den Druck in der Kammer genau zu steuern, und eine geringe Strömungsgeschwindigkeit von Gasen, um ein Trocknen unter Ätzen zu vermeiden. Das leistungsstarke MARCH PX-1000 bietet ein tolles Preis-Leistungs-Verhältnis. Es ist kompakt und leicht und kann leicht in jedes Produktionsmodell integriert werden. Darüber hinaus ist das Gerät hochgenau und wiederholbar und liefert konsistente und zuverlässige Ergebnisse für mehrere Anwendungen. So erzielt MARCH PX 1000 High-End-Präzisionsätz- und Ascheergebnisse, die für die meisten Produktionsumgebungen geeignet sind.
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