Gebraucht MARCH PX-1000 #9100080 zu verkaufen

MARCH PX-1000
Hersteller
MARCH
Modell
PX-1000
ID: 9100080
Plasma cleaners.
MARCH PX-1000 Asher/Etcher ist ein reinraumkompatibles, ertragsstarkes, vollautomatisches Gerät der Klasse 10, das sowohl zum Aschen (Entfernen von organischem Material) als auch zum Ätzen (Entfernen von metallischem Material) von Halbleiterscheiben verwendet wird. MARCH PX 1000 wurde entwickelt, um Wafer zu reinigen und sie für weitere Fertigungsschritte bereit zu machen. PX-1000 bietet den höchsten Durchsatz und die sauberste Verarbeitung für die fortschrittliche Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das einzigartige Kammerdesign von PX 1000 dreht den Wafer als Charge und verteilt die Chemikalien gleichmäßig über die Oberfläche des Wafers und sorgt so für einheitliche Ätz- und Ascheergebnisse. MARCH PX-1000 bietet eine Temperaturregelung in einem Bereich von + -2 ° C, um Verarbeitungsschwankungen zu berücksichtigen, während seine bewährte Durchflussregelung eine gleichmäßige Abscheidung der Chemikalien auf den Wafer gewährleistet. MARCH PX 1000 ist mit einem Ladeanschluss ausgestattet, der Reinraumkompatibilität gewährleistet und es dem Benutzer ermöglicht, bis zu acht Kassetten in einer Zeit zu laden, was den Durchsatz des Systems erheblich erhöht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen Wafer-Sensorschalter, der das Vorhandensein eines Wafers erkennt, bevor der Prozessablauf eingeleitet wird, und die Energie- und Temperatureinstellungen während des Ätz-/Aschvorgangs überwacht, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. PX-1000 kommt auch mit einem fortschrittlichen Präzisions-Timing-Mechanismus und einem ausgeklügelten Softwarepaket, das sicherstellt, dass der Ätz-/Ascheprozess für eine schnelle und einfache Einrichtung genau überwacht wird. PX 1000 bietet eine präzise Temperaturregelung, die für verbessertes Ätzen/Aschen feinjustiert werden kann, und schaltet den Prozess automatisch ab, sobald die maximale Anzahl von Ätzen/Aschen erhalten wurde. Schließlich ist MARCH PX-1000 Asher/Etcher mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich einer Luftkühlmaschine, die sicherstellt, dass das Werkzeug auch bei der Arbeit mit brennbaren oder brennbaren Materialien sicher verwendet werden kann. Dieses Asset bietet auch flexible Automatisierungsoptionen für eine Reihe von analytischen Anforderungen, wodurch es einfach ist, das Modell an die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers anzupassen.
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