Gebraucht MARCH PX-250 #9155556 zu verkaufen
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ID: 9155556
Plasma etcher
Controlled environmental vacuum chamber
Used for PR descum and oxygen plasma treatment
Power supply: 115/200 - 230 V, Single Phase, 60/50 Hz.
MARCH PX-250 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um präzise Ätz- und Aschefunktionen für Laborproben und Industrieteile bereitzustellen. Das Gerät kann sowohl substrat- als auch membranbasierte Proben verarbeiten und bietet bis zu drei unabhängige Ätz-/Aschefunktionen in einer Einheit. MARCH PX 250 ist für eine Vielzahl von Materialien wie Glas, Silizium, III-V-Verbindungen, Weichoxidmaterialien, Polymeren und Halbleitern gut geeignet. PX-250 verfügt über zwei Ätz-/Aschekammern mit separaten Stromversorgungen. Jede Kammer ist mit einer HF-Quelle für bis zu 20 Watt Leistung ausgestattet und verfügt über eine ICP-Quelle, die bis zu 200 Watt Leistung ermöglicht. Die ICP-Quelle bietet auch außergewöhnliche Kontrolle und Präzision und kann sowohl HF- als auch DC-Leistung unterstützen, um präzise Ätzmaße und Konsistenz im Ätz-/Ascheprozess zu erzeugen. Das Oberteil der Ätz-/Aschekammer PX 250 verfügt außerdem über zwei unabhängige Quarztanks, die speziell zur Unterstützung von Ätz- und Ascheprozessen entwickelt wurden. Beide Behälter sind mit einem unabhängigen Abgasanschluss ausgestattet und in der Lage, eine breite Palette von Materialien und Protokollen zu verarbeiten. MARCH PX-250 bietet eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, um zuverlässige und wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. Das System umfasst einen Druckregler und einen Präzisionstemperaturregler, der Temperaturniveaus sowohl in der Ätz- als auch Aschekammer überwacht und aufrechterhält. MARCH PX 250 verfügt außerdem über eine Feldemissionsanzeige, die die Programmierung und Steuerung von Druck-, Zeit- und Temperaturparametern ermöglicht. Das Gerät verfügt über einen Gasversorgungsanschluss, der leicht an eine Helium-, Sauerstoff- oder Stickstoffquelle angeschlossen werden kann und eine vollständige Prozessflexibilität und Kontrolle ermöglicht. PX-250 ist auf einfache Bedienung ausgelegt und kann schnell auf spezifische Ätz-/Ascheanforderungen konfiguriert werden. Die Maschine unterstützt eine breite Palette von Ätz- und Ascheprotokollen, darunter zeitgesteuerte Ätzungen, Schrittätzungen und Massenätzungen. Darüber hinaus enthält das PX 250-Ätz-/-Ashing-Tool einen USB-Anschluss für einfache Software-Updates und ein MET/CAL-Kalibrierungspaket zur schnellen und genauen Validierung von Prozessparametern. Insgesamt ist MARCH PX-250 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der sowohl Präzision als auch Flexibilität in einer Einheit bietet. Mit seinen leistungsstarken Fähigkeiten und dem einfachen Design ist das Asset eine ausgezeichnete Wahl für eine breite Palette wissenschaftlicher und industrieller Anwendungen, die präzises Ätzen und Aschen erfordern.
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