Gebraucht MARCH PX-250 #9156391 zu verkaufen
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ID: 9156391
Plasma etcher
(3) Shelf configuration
Dual flow raters for gas
300 or 600 Watt RF Generator.
MARCH PX-250 ist eine Ätzmaschine, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Trockenverarbeitungsfunktionen für eine Vielzahl von Anwendungen in Kategorien von der Industrie bis zur Medizin anzubieten. Dieses effiziente und kostengünstige Werkzeug erzeugt präzise und konsistente Profile auf einer Vielzahl von Substraten mit vier verschiedenen Verfahrenstechniken, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Das System verwendet High-Tech-Komponenten, einschließlich einer Stromversorgung, Widerstandsheizung, Vakuumkammer, sowie zwei integrierte Ätz- und Ascherkammern, um hervorragenden Betrieb und Leistung zu liefern. Das Hauptmerkmal von MARCH PX 250 ist die hohe Stufe der Ätz- und Ascherleistung. Das Gerät verwendet eine Widerstandsheizung und eine eng gekoppelte Hochleistungs-Vakuumkammer, um sicherzustellen, dass die Temperatur innerhalb der Ätzkammer konstant und sicher für Ätz- und Ascheprozesse bleibt. Darüber hinaus ist die Maschine selbstregulierend und enthält lokale Kontrollen, mit denen Benutzer Parameter wie Temperatur, Gasfluss und Druck sowie die Abscheidezykluszeit einstellen können. Darüber hinaus wird das gesamte Werkzeug durch ein computergestütztes Verfahren gesteuert, um sicherzustellen, dass jeder Ätz- und Ascherprozess sicher und ordnungsgemäß abgeschlossen wird. Der Vermögenswert umfasst auch zwei unabhängige Ätz- und Ascherkammern. Jede Kammer verwendet unterschiedliche Verfahrenstechniken, so dass der Bediener die Konzentrationen von Ätz- und Aschergasarten kontrollieren kann. Die getrennten Heizelemente der Kammern tragen auch dazu bei, dass das richtige Gasprofil während des gesamten Prozesses erhalten bleibt. Darüber hinaus verfügt die Kammer über einen entfernten Plasmaätzer, um ein Nanometer-Präzisionsätzen zu ermöglichen. Der Ätzer erzeugt auch einen Mittelfrequenzimpuls pro Zyklus, so dass der Bediener den Prozess feinabstimmen kann, um bessere Ergebnisse zu erzielen. PX-250 bietet eine Vielzahl weiterer Funktionen, um den Prozess effizienter zu gestalten. Sein automatisierter Gaswäscher entfernt Prozessgas vor dem Eintritt in die Kammer, so dass ein reinerer Ätz- und Ascheprozess möglich ist. Darüber hinaus ermöglichen die Gaskontrollmechanismen des Modells eine präzise Kontrolle des Drucks, während seine fortschrittliche Atmosphärenregelung die Stabilität des Prozesses verbessert. Schließlich kann PX 250 mit zusätzlichen Materialhandhabungssystemen wie einem Wafer Batch Loader oder einem Wafer Single Loader kombiniert werden, um rationalisierte Trockenverarbeitungsaufgaben zu ermöglichen. Schließlich MÄRZ PX-250 ist ein in einer Prozession gehendes trockenes vorgebrachtes Hochleistungswerkzeugangebot, ätzt und ashers Fähigkeiten. Diese Ätzer-Ascher-Ausrüstung kann vier verschiedene Prozesstechniken verwenden, um Präzision auf einer Vielzahl von Substraten und mit einstellbaren Parametern zu erzielen, so dass Benutzer die gewünschten Ergebnisse erzielen können. Darüber hinaus umfasst das System zwei unabhängig beheizte Ätz- und Ascherkammern, einen automatisierten Gaswäscher und einen entfernten Plasmaätzer zur Bereitstellung von Nanometer-Präzisionsätzen.
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