Gebraucht MARCH PX-250 #9233379 zu verkaufen
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ID: 9233379
System
Solid state: 13.56 MHz
RF Generator: 300 Watts
Internal RF matching network
Automatic tuning
Stainless steel chamber
(3) Adjustable electrodes / Shelves: 177.8 x 203.2 mm (7" x 8")
(3) Process shelves can be configured powered RF
(2) Mass flow controllers.
MARCH PX-250 ist ein Präzisionsätzer/Ascher für zuverlässige und wiederholbare Leistung in anspruchsvollen industriellen Anwendungen. Es ist mit einer robusten, Drei-Zonen-Warmwandkonstruktion konstruiert, die überlegene Ätzergebnisse gewährleistet. MARCH PX 250 ist mit einem Hochtemperaturofen und vier verschiedenen Heizelementen pro Zone ausgestattet. Der Ofen hat einen Temperaturbereich von umgebend bis 1000 ° C und die Heizelemente können Temperaturen bis 1100 ° C erreichen. Zusätzlich verfügt der Ätzer über eine programmierbare Spitzentemperaturrate, die eine präzise Steuerung der Heizrate ermöglicht. Die integrierte SPS-Steuerung ermöglicht es Benutzern, präzise Parameter zu programmieren, um die Wiederholbarkeit zu gewährleisten. PX-250 verfügt auch über eine hochauflösende CCD-Kamera zur präzisen Ausrichtung von Substraten. Die Kamera kann für eine mittelgewichtete oder kantengewichtete Ausrichtung eingestellt werden. Das Substrat wird dann unter dem Hochtemperaturofen zum Ätzen transportiert. Der Druck innerhalb der Prozesskammer wird durch einen Druckregler geregelt, wodurch eine präzise Ätzumgebung gewährleistet ist. Das fortschrittliche Design des PX 250 umfasst auch integrierte Prozessgasliefersysteme mit optionalen subatmosphärischen Drücken von bis zu -600 Millibar. Verschiedene Prozessgase können bei Bedarf zum Ätzen verschiedener Substrate in die Prozesskammer eingespeist werden. Ferner ist eine Gasabgasanlage eingebaut, mit der gefährliche Nebenprodukte aus dem Ätzer entfernt werden können. MARCH PX-250 ist für präzise Ätzergebnisse mit geringer thermischer Exploration konzipiert. Die robuste Konstruktion und die integrierten erweiterten Funktionen machen es ideal für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen wie die Herstellung von Solarzellen, die Verarbeitung von Leiterplatten und die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Seine Präzision und Wiederholbarkeit machen es sehr begehrt bei Herstellern in diesen Branchen.
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