Gebraucht MARCH Super Plasmod #9089873 zu verkaufen
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ID: 9089873
Plasma etcher
Pyrex chamber
Interior dimensions: 5.65" x 7.5"
3.2 CFM Vacuum pump
Gas channel control module
220 V, 1 Phase, 50/60 Hz.
MARCH Super Plasmod ist ein Ätzer und Ascher, der entwickelt wurde, um genaues und präzises Ätzen und Aschen für eine breite Palette von Anwendungen zu bieten. Es ist eine All-in-One-Ätz- und Aschemaschine, die in der Lage ist, schnelle Zykluszeit, einen erweiterbaren Arbeitsplatz und eine Vielzahl von Prozessrezepten zu liefern. Die geräumige Quarzheißzone von Super Plasmod garantiert konsistente Prozessergebnisse mit einer Temperaturkontrollgenauigkeit von bis zu 2 ° C. Es verfügt auch über einen Plasmagenerator mit variabler Frequenz, mit dem Benutzer die Plasmafrequenz einfach so einstellen können, wie sie für die Anwendung geeignet ist. Das Dual Gas Delivery System von March Super Plasmod liefert eine Vielzahl von Vorläufergasen und inerten Gasen mit Steuerung von Gasdruck, Gesamtgasstrom, Reaktionsgasstrom und Gasbilanz für jeden chemischen Ätzprozessstrom. Das Gerät verwendet auch speziell entwickelte Duschköpfe, um eine gleichmäßige Vorläuferabgabe auf dem Zielsubstrat zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über einen eingebauten Prozessmonitor, der den Gesamtgasdruck, den Gesamtgasstrom und die Substratvorspannung erfasst und Benutzern hilft, die besten Ätzergebnisse zu erzielen. Super Plasmod ist auch mit einem Full-Size-Viewport zur Überwachung von Ätz- und Ascheprozessen sowie einem dualen Vakuumwerkzeug zur Reduzierung von Kontaminationen ausgestattet. Es verfügt außerdem über eine automatisierte Reinigungsanlage, um sicherzustellen, dass Ätzkammern niemals der äußeren Energie ausgesetzt sind. MÄRZ Super Plasmod verfügt über mehrere Sicherheitsmechanismen, darunter einen Bewegungsmelder, ein geschlossenes Wasserrückführungsmodell und einen Notabschalter. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Vielzahl benutzerfreundlicher Funktionen wie schrittweise Bedienungsanleitungen und mehrsprachigen Betrieb. Um sicherzustellen, dass Benutzer jedes Mal konsistente Ergebnisse erzielen, verfügt Super Plasmod über einstellbare Parameterteiler, mit denen Benutzer verschiedene Parameter für verschiedene Rezepte eingeben und speichern können. MARCH Super Plasmod ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschesystem, das sich ideal für industrielle und akademische Anwendungen eignet. Es verfügt über eine präzise, genaue Steuerung aller für Ätz- und Ascheprozesse notwendigen Parameter und ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen und benutzerfreundlichen Designmerkmalen ausgestattet.
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