Gebraucht MATRIX 105 #9032614 zu verkaufen

MATRIX 105 Ätzer/Ascher ist eine hochentwickelte chemische Ätz- und Ascheausrüstung, die in der Halbleiterherstellung und anderen mikroelektronischen Anwendungen verwendet wird. Es nimmt die Präzision des naßchemischen Ätzens und kombiniert es mit der Verarbeitungsgeschwindigkeit von Trockenätztechniken. Das System verfügt über eine ultrahoche Vakuumprozesskammer mit bis zu sechs Vakuumanschlüssen und einer Lastverriegelungseinheit. Dadurch können inerte, reaktive, trockene und nasse Prozesse effizient und sauber durchgeführt werden. Innerhalb der Ätzkammer wird eine ausgeklügelte Robotikmaschine zur Steuerung des Ätzprozesses eingesetzt. Der Roboter ist so programmiert, dass er Wafer, Substrate und andere Ätzkomponenten genau und präzise mit variablen Raten für optimale Ätzqualität bewegt. Dies sorgt für hohe Ätzraten bei gleichmäßiger Tiefe und reinigt entlang des Ätzprofils. 105 ist sowohl für Asche- als auch für schwere Ätzprozesse ausgelegt. Das Aschen ist ein Verfahren, bei dem eine nichtleitende Schicht aus Polysilizium, wie ein Oxid, von einer Oberfläche entfernt wird. Zur Vorbereitung der Oberfläche auf die Weiterverarbeitung ist eine Asche erforderlich. Schweres Ätzen wird verwendet, um Muster und Formen in Wafern, Substraten und anderen Materialien zu erzeugen. Mit dem Pulsmodus-Ätzen kann das Werkzeug die Ätztiefe und Vollständigkeit für die effizientesten und genauesten Ätzprozesse genau steuern. MATRIX 105 hat auch eine Kaltwand-Funktion, die hilft, Partikelverunreinigungen zu reduzieren und die Ätzgleichmäßigkeit zu verbessern. Die kalten Wände reduzieren den Wärmepegel innerhalb der Kammer, was thermische Effekte reduziert und die Profilgleichförmigkeit verbessert. Zusätzlich kann bei kritischen Ätzprozessen die GFED (Gas Flow Endpoint Detection) aktiviert und überwacht werden, um den genauen Ätzendpunkt sicherzustellen. Schließlich macht die komplette Suite an Steuerungs- und Messfunktionen 105 zu einem der fortschrittlichsten Systeme seiner Art. Es verfügt über einfach zu bedienende Prozessmonitore, die Prozessparameter wie Druck, Temperatur, Spannung und Strom erkennen und aufzeichnen können. Diese Daten können dann gespeichert und analysiert werden, um mit jeder Ätz- und Ascheanwendung bestmögliche Ergebnisse zu erzielen.