Gebraucht MATRIX 105 #9201800 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9201800
Wafergröße: 6"
Plasma asher descum, 6"
Enhanced gate oxide integrity
Reduced threshold and capacitance voltage shifts
Reduced contact resistance / Oxidation
Photoresist stripping:
High dose implant
Post-polysilicon etch
Post-metal etch
Post-oxide etch
Controlled resist removal:
Post-develop descum (pre-etch)
Dry / Wet process capability
Uniformity capability (<5% 1σ)
GaAs, InP Wafer strip and descum
Thin film head resist cleaning
Opto electronic devices cleaning
MEMS
Single wafer multi-step processing:
Precisely controlled and repeatable stripping of each wafer
(3) Programmable steps with overstrip
Capable of long process times for exceptional control
High throughput:
35 WPH on 150mm substrate
Aluminum wafer chuck:
Fast
Precise
Uniform removal of resist
Low particles:
0.1 Particles (>0.3μm) added per cm²
Proven system performance:
700 System ones in use worldwide
95% Uptime
Proven reactor design:
Closed-loop temperature control
Stable range for strip:
150°C - 250ºC (+/-5°C)
For descum:
70°C - 150ºC.
MATRIX 105 ist ein Etcher/Asher, der für kostengünstige Experimente und präzise Produktionsanwendungen in der Serienproduktion von Leiterplatten mit geringen bis mittleren Stückzahlen entwickelt wurde. Es ist mit einer zweigleisigen Ausrüstung ausgestattet und verwendet bis zu 12 "breite palettierte luftgekühlte oder luftgekühlte Vakuumvorrichtungen. Das zweigleisige System bietet eine einzigartige Flexibilität bei der Steuerung von Track-to-Track-Variationen für unterschiedliche Verarbeitungsbedingungen. Ein an der Plattformbaugruppe montierter Encoder gewährleistet eine exakte Positionierung der Platten für eine gleichbleibend präzise Ätzplatzierung. Der Bahnsteig ist bahnhofsgeführt, um die vollständige Abdeckung der Gleise zu erleichtern. 105 bietet präzise Steuerung und kostengünstige Bedienung mit einem einfachen, intuitiven Design, das eine schnelle Einrichtung und Kalibrierung ermöglicht. Es ist mit einer niederprofiligen, selbstjustierenden Antriebseinheit mit direkter Drive-to-Platen-Fähigkeit ausgestattet, die einen kostengünstigen Betrieb ohne regelmäßige Wartung ermöglicht. Die Edelstahlbahn verarbeitet bis zu 12 "breite Rollen oder Bleche und ermöglicht eine großflächige Beschichtung. Das niedrige Profil ermöglicht eine dünne Materialdicke unter Beibehaltung eines genauen und konsistenten Ätzprozesses. MATRIX 105 verfügt über ein hochpräzises optisches Open-Architecture-Design, das die gleiche PCB-Größe und genaue Durchgangslochplatzierung für jeden Durchlauf gewährleistet. Dank seiner benutzerfreundlichen Bedienelemente, der Einstellbarkeit und der zugänglichen Wartung ist es ideal für zerstäubte Dünnschichtanwendungen. Zusätzlich hat die Maschine eine maximale Temperaturgrenze von 550 ° C für temperaturempfindliche Substrate. Das Werkzeug ist so konzipiert, dass es seine Komponenten für temperaturkritische Anwendungen gleichmäßig erwärmt. Die luftgekühlten Vakuumvorrichtungen bieten einen präzisen, wiederholbaren Prozess mit größerer Kontrolle über Temperatur und Prozesskonsistenz. Mit einem eingebauten Luftpuffer kann die Anlage Temperaturen bis auf Raumtemperatur steuern. Die Vorrichtungen garantieren eine gleichmäßige Positionierung und ununterbrochene Ätzung. Der einstellbare konforme Kragen vergrößert die Feldabdeckungsfläche für Temperaturgleichförmigkeit. Die Vakuumvorrichtungen verfügen über zwei große Platten für zweigleisiges Ätzen, die Tieftemperatur- und Hochpräzisionsprozesse ermöglichen. Das Modell ist mit einem integrierten EDGE300 Controller zur vollständigen PC-basierten Prozesssteuerung ausgestattet. Der Controller bietet eine menügesteuerte, Windows-kompatible Steuerungsplattform mit einer grafischen Oberfläche zur Verwaltung aller Prozessparameter. Diese benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine schnelle Einrichtung und ermöglicht die Änderung der Prozessparameter für verschiedene Anwendungen, ohne dass zusätzliche Parameter programmiert werden müssen. 105 ist eine leistungsstarke, kostengünstige Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen in der Elektronikindustrie. Mit seiner fortschrittlichen zweigleisigen Ausrüstung, den Vakuumvorrichtungen und dem EDGE300-Controller liefert das System die Präzision, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit, die für die Serienproduktion erforderlich sind.
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