Gebraucht MATRIX 106 #9144783 zu verkaufen

MATRIX 106
Hersteller
MATRIX
Modell
106
ID: 9144783
Wafergröße: 6"
Resist asher, 6".
MATRIX 106 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher. Es wurde speziell entwickelt, um genaue und zuverlässige Ätz- und Ascheprozesse unter Verwendung eines 1000 ° C hohen Reaktionsrohres aus Vollkeramik bereitzustellen. Das Reaktionsrohr hat ein gleichmäßiges Temperaturprofil und wird durch eine röhrenförmige Lampe zwischen 850 ° C und 1000 ° C konstant erhitzt. Zusätzlich kann der Zyklus von Kühl- und Nachheizzeiten eingestellt und Mikroprozessor gesteuert werden. Die Reaktionskammer ist zylindrisch und mit einer Mittelachse zum Abätzen in das Substrat ausgebildet. Die Kammer soll auch dafür sorgen, dass über das gesamte Substrat je nach Art des Ätz- und Aschevorgangs gleichmäßige Temperaturen und optimale Ätzraten erreicht werden. 106 weist außerdem ein Kühlsystem mit Zwangsluftkühlmittel auf, um sicherzustellen, dass das Reaktionsrohr auf einer gleichmäßigen Temperatur bleibt und das Temperaturprofil konsistent ist. Zusätzlich ist eine Pumpe mit variabler Drehzahl eingebaut und das Kühlgebläse kann zur Regelung der Drehzahl und Temperatur des Reaktionsrohres eingestellt werden. Das vollkeramische Reaktionsrohr ist intern mit Aluminiumoxid zum chemischen Ätzen oder Siliziumdioxid für einen Aschevorgang für eine Vielzahl von Materialien und Substraten beschichtet. Die Benutzeroberfläche von MATRIX 106 ist recht einfach zu bedienen. Es enthält einen LCD-Bildschirm zur Einstellung von Zeit und Temperatur und zur Überwachung des Prozesses. Zusätzlich sind eine Reihe von physikalischen Schaltern und Tasten zur Steuerung des Prozesses und der Sicherheitsmerkmale des Systems vorgesehen. Alle diese Bedienelemente befinden sich bequem an der Vorderseite der Maschine, so dass der Benutzer es einfach mit minimalem Training bedienen kann. 106 enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen für einen sicheren Betrieb. Zur Erfassung von Überdruck im Reaktionsrohr ist ein Druckschalter vorgesehen, während ein Ventil zur Steuerung oder Sperrung eventueller Leckagen vorgesehen ist. Weitere Merkmale sind ein Druckrelais und ein Notstromschalter, die den Zugriff auf die Stromquelle steuern und sofort abschalten, wenn eine kritische Situation auftritt. Insgesamt ist MATRIX 106 ein zuverlässiger und leistungsstarker Ätzer/Ascher. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Sicherheitsmerkmale machen es zu einer idealen Wahl für Ätz- und Ascheprozesse aus einer Vielzahl von Materialien und Substraten.
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